판매용 중고 SVT ASSOCIATES Atomic Layer Deposition system #293814527
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SVT ASSOCIATES ALD (Atomic Layer Deposition) 장비는 원자 스케일 해상도의 기판에서 박막을 정확하고 제어하는 최첨단 원자로입니다. 이 정교한 도구는 고급 반도체 연구, 나노 기술 개발, 초박형 및 균일 한 필름이 필요한 표면 엔지니어링 응용 프로그램 (surface engineering application) 을 위해 특별히 설계되었습니다. ALD 시스템은 필름 두께, 컴포지션 및 균일성을 정확하게 제어 할 수있는 독특한 순차 증착 (sequential deposition) 프로세스를 사용하여 정확한 재료 설계 및 서피스 수정을위한 강력한 도구입니다. SVT ASSOCIATES ALD 장치의 중심에는 증착 과정을위한 깨끗하고 통제 된 환경을 제공하는 고 진공 챔버 (high-vacuum chamber) 가 있습니다. 챔버에는 여러 개의 가스 입구, 기판 홀더 및 가열 요소가 장착되어 ALD 프로세스를 용이하게합니다. 전구체 가스는 순차적 인 방식으로 챔버에 도입되어, 반응물 사이를 번갈아 가며 박막 층 (Thin film layer-by-layer) 의 통제 된 성장을 달성한다. 이 전구체 가스의 순차 펄싱 (pulsing) 은 필름 두께에 대한 원자 수준 제어를 가능하게하여 기판에 매우 균일하고 등각 코팅이됩니다. ALD 기계에는 맥박 시간, 가스 흐름, 온도, 압력 등의 증착 매개변수를 정확하게 조정할 수있는 최첨단 제어 도구가 장착되어 있습니다. 이 수준의 제어를 통해 연구원들은 증착 된 필름 (예: 컴포지션, 두께, 결정성) 의 특성을 특정 응용 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 또한, 자산은 다양한 전구체 가스를 처리 할 수 있으며, 다양한 재료 및 복잡한 다층 구조를 증착 할 수있는 유연성을 제공합니다. SVT ASSOCIATES ALD 모델의 주요 기능 중 하나는 확장성 (Scalability) 으로, 다양한 기판 크기와 모양을 증착 할 수 있습니다. 다목적 기판 보유자는 각기 다른 재료, 크기, 기하학의 기질을 수용할 수 있으므로 광범위한 연구, 산업 응용 분야에 적합합니다. 또한, 이 장비는 에칭 시스템 (etching system) 이나 도량형 도구 (metrology tools) 와 같은 다른 프로세스 도구와 쉽게 통합되도록 설계되어, 제조 프로세스의 프로세스 단계 간에 원활하게 전환할 수 있습니다. ALD 시스템은 또한 분광 타원법 (spectroscopic ellipsometry) 또는 석영 결정 미생물 (quartz crystal microbalance) 과 같은 기술을 사용하여 필름 성장의 현장 모니터링을 포함한 고급 진단 기능을 제공합니다. 이러한 내부 모니터링 도구는 필름 두께, 증가율, 컴포지션에 대한 실시간 피드백을 제공하며, 사용자는 프로세스 매개변수를 최적화하고 박막 증착의 재생성을 보장할 수 있습니다. 결론적으로, SVT ASSOCIATES ATOMIC Layer Deposition 유닛은 원자 스케일 해상도로 박막의 정확하고 통제 된 증착을 제공하는 최첨단 원자로입니다. 첨단 기능, 확장성, 다용도 기능을 통해 반도체 기술, 나노기술 (Nanotechnology), 표면 엔지니어링 (Surface Engineering) 분야의 광범위한 연구 및 산업 응용을 위한 강력한 도구입니다. ALD 머신 (ALD machine) 은 첨단 제어 및 진단 기능과 함께 매우 균일하고 등각 코팅 (conformal coating) 기능을 제공하여 박막 기술의 경계를 밀어내려는 재료 과학자 및 엔지니어에게 없어서는 안될 도구입니다.
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