판매용 중고 STS Pro CVD #9284379
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ID: 9284379
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
PECVD System, 8"
Process: Oxide (SiO2)
Silane based Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
(2) Carousel load locks, 8"
CVD Chamber parts for single substrate processing
Top electrode: RF Bias
Process vacuum pump
DI Water chiller
Scholl pump
Single chamber:
Driven electrode: Upto 350°C temperature
Chamber heating upto 100°C via distributed cartridge heaters
Lid assembly heating of 300°C max via a cast block
High deposition rate with high gas flow capability
Chiller
Gas panel type: On board
(6) Gas lines
Load lock pump
Chamber pump
Maxi gas box: C4F8, O2, N2O, SiH4, NH3, N2, Ar, He
Mixed frequency configuration: ENI 13.56 MHz, 300W RF power supply
Dual power supplies:
RF Supply and matching unit: 500W (380kHz) RFPP LF-5
RF Supply and matching unit: 1000W (380kHz) RFPP LF-10A
2005 vintage.
STS Pro CVD는 CVD (chemical vapor deposition) 원자로로, 고급 재료 및 표면의 실험실 규모 처리를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 금속, 산화물, 질화물, 탄화물 및 기타 복잡한 화합물을 포함한 다양한 고급 물질의 박막 (thin film) 을 생성 할 수 있습니다. CVD 공정은 가열 된 챔버 (heated chamber) 에 전구체 가스를 공급하는 것을 기반으로하며, 여기서 증기는 챔버 표면과 반응하여 얇은 필름을 형성합니다. Pro CVD 시스템에는 다양한 기능이 있어 고급 재료를 정확하고 안전하게 처리할 수 있습니다. 이 장치에는 비활성 가스 입구, 여러 배기 포트 및 혁신적인 샘플 홀더 디자인이 장착되어 있습니다. 샘플 홀더는 모든 유형의 기판에서 박막 (thin film) 을 신뢰할 수 있고 균일 한 증착을위한 독특한 필드 역전 메커니즘을 통합합니다. 홀더는 또한 가스 흐름을 효율적으로 제어하기위한 유량 미터를 내장하고 있습니다. STS Pro CVD 기계에는 최대 1300 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고출력 난방 요소가 장착되어 있습니다. 이 공구는 최적화 된 CVD 처리를 위해 챔버 전체에서 균일 한 표면 온도를 달성 할 수 있습니다. 에셋에는 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 위해 온도 (temperature) 및 압력 센서 (Pressure Sensor) 와 추력 (Thrust) 및 속도 컨트롤러 (Speed Controller) 도 장착되어 있습니다. 또한 Pro CVD Reactor 설계는 효율적인 냉각을 보장하며, 프로세스 재생성을 향상시키기 위해 빠른 (ram) 상하/냉각 (cool down) 시간을 지원합니다. 또한 STS Pro CVD 모델에는 트랜지스터 기반 컨트롤러와 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수를 포괄적으로 제어하고 프로세스를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수의 정확한 값을 실시간 업데이트 (rapid update in real time) 로 표시할 수 있습니다. Pro CVD 장비 (Pro CVD Equipment) 는 신뢰성이 높고 유지 보수가 용이하여 고급 재료와 표면의 실험실 규모 처리에 이상적입니다. 이 시스템은 열악한 환경 조건에서 정확하고 효율적인 작동을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 또한 에너지 효율성과 낮은 전력 소비를 특징으로하며, 비용 절감에 더 기여합니다.
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