판매용 중고 PLASMATHERM PK-1241 #9135300

PLASMATHERM PK-1241은 증착 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고성능 플라즈마 원자로입니다. 원자로에는 고온 정전 식 플라즈마 소스 (plasma source) 와 정밀한 프로세스 제어를 위한 고속 질량 흐름 컨트롤러 (mass-flow controller) 가 장착되어 있습니다. 원자로는 최대 130 섭씨 온도에 도달 할 수 있으며, 균일 한 (uniform), 방향성 (directional), 단방향 (one-way) 의 세 가지 모드로 프로세스를 실행할 수 있습니다. 고주파, 저압 방전은 도전적인 공정 재료에서도 균일 하고 정의 된 필름을 달성 할 수 있습니다. 원자로는 실리콘, 질화물, 다결정 등 다양한 기질 유형을 처리 할 수 있습니다. 빠른 필름 증착을 가능하게하여 프로세스 시간이 짧고 생산 효율성이 향상됩니다. 원자로에는 자동 수냉식 (water cooling) 이 장착되어 있어 장기적이고 효과적인 작동이 가능합니다. 또한 개별 프로세스 레시피를 편리하게 프로그래밍할 수있는 사용자 친화적 인 HMI (human-machine interface) 가 장착되어 있습니다. 원자로 는 기판 을 감시 하고 공정 "파라미터 '를 최적화 하는 온도 감지 장치 를 갖추고 있다. 또한 OES (optical emission spectroscopy) 를 옵션 기능으로 사용할 수 있으며, 이를 통해 정확한 프로세스 모니터링 및 최적화를 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 EOF (End of Film) 감지를 특징으로하며, 바람직한 필름 매개변수를 달성 할 때 플라즈마 방전을 자동으로 종료 할 수 있습니다. 원자로 챔버는 재료 호환성 및 부식 저항에 특히주의를 기울인 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 안전한 작동을 보장하기 위해 3 상 전원 공급 장치로 구동됩니다. 이 원자로는 CE/EMC 표준을 준수하며 RoHS 인증을 받았습니다. 또한 원자로는 PK-1241LAR 및 PK-1241NAR의 두 가지 모델로 제공됩니다. PK-1241LAR는 기판 크기가 최대 760 x 510 mm 인 저지대, 넓은 면적 원자로입니다. PK-1241NAR는 기판 크기가 최대 130 x 40 mm 인 일반 방위, 좁은 면적 원자로입니다. 두 모델 모두 견고한 설계를 갖추고 있으며, 설치와 작동이 용이하며, 안정적이고 안정적인 프로세스 결과를 제공할 수 있습니다. PK-1241은 증착 응용을위한 훌륭한 원자로 선택입니다. 세련된 디자인, 고성능, 사용자 친화적 기능을 통해 다양한 기판 크기에 걸쳐 정확한 필름 증착을 위한 완벽한 툴입니다.