판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus-S #293604358

ID: 293604358
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus-S는 다양한 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 성능 다기능 플라즈마 원자로입니다. 플라즈마 처리, 증착, 에칭 및 청소와 관련된 광범위한 실험을 지원하기 위해 듀얼 뷰 가스 분사 시스템 (Dual-View Gas Injection System) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 평면 (flat) 패널에서 마이크로 칩 (microchip) 에 이르기까지 여러 프로세스 기판을 수용하도록 설계된 원통형 챔버를 호스팅합니다. 최첨단 챔버 (camber) 는 유선형 및 와전류 (eddy current) 로 최적의 가스 분포를 유도하도록 최적으로 설계되어 기판의 정밀한 프로세스 균일성을 보장합니다. 또한 위치 정확도를 더욱 보장하기 위해 독립적 인 정전기 중심이 특징입니다. Plasmalab 80 Plus-S는 유도 및 정전 식 결합 된 플라즈마 프로세스를 모두 실행 할 수 있으며, 이는 다양한 실험에 이상적인 선택입니다. 이 장치의 추가 특징으로는 플라즈마 전위의 현장 모니터링을위한 혁신적인 정전기 전하 미터 (electrostatic charge meter) 와 정확한 분광학 분석을위한 고해상도 분광계 (high-resolution spectrometer) 가 있습니다. 이 장치에는 고급 컴퓨터 제어 시스템 (Advanced Computer Control System) 이 장착되어 있어 플라즈마 실험의 모든 매개변수를 제어할 수 있으며, 데이터 획득 및 분석을 통합합니다. 또한, 플라즈마 원자로는 이더넷 (Ethernet) 과 GPIB를 포함한 다양한 통신 인터페이스를 제공하여 현대 시스템과의 원활한 통합을 보장합니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus-S는 사용자에게 높은 수준의 플라즈마 제어를 제공하기 위해 훌륭하게 설계되었으며, 프로세스 최적화 및 정확한 분광학적 측정을 제공합니다. 다기능 (multi-function) 과 인체공학적 (ergonomic) 설계를 갖춘 이 플라스마 원자로는 다양한 연구 작업에 적합한 선택입니다.
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