판매용 중고 OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #9409490
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OERLIKON LEYBOLD Univex 350은 기판 및 박막 증착에서 표면 증착을 위해 설계된 수직 축 원자로입니다. Univex 350은 증발, 스퍼터 증착 및 기타 기술과 같은 물리적 증기 증착 (PVD) 프로세스 단계를 위해 특별히 설계된 확산 배치 형 원자로입니다. 원자로에는 원통형 개방형 포켓 시스템이 있어 빠른 기판 교환 및 유연한 형상이 가능합니다. 이를 통해 쌓인 기판, 좁은 슬릿 (slit) 또는 작은 기판 조각과 같은 어려운 형상에 적응할 수 있습니다. 원자로는 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber), 증발원에 사용되는 중간에 도가니, 압력 측정을위한 2 개의 석영 창, 펌핑, 적재, 하역 및 가스 입력을위한 2 개의 포트로 구성됩니다. 챔버는 PLC (programmable logic controller) 에 연결된 두 개의 독립적 인 PID 컨트롤러로 제어됩니다. OERLIKON LEYBOLD Univex 350의 구성 요소는 PLC에서 사용할 수있는 온도, 압력 및 기타 프로세스 제어 피드백과 함께 프로그래밍 가능합니다. 또한 자동 스로틀 밸브 (throttle valve) 를 사용하여 공정 중에 진공을 꾸준히 유지할 수 있습니다. 또한, Univex 350에는 강력한 오염, 기계적 손상 또는 가스 누출과 같은 잠재적 문제에 대한 통합 검사 및 안전 시스템이 포함되어 있습니다. 이러한 안전 시스템은 원자로를 수동으로 자동 작동 할 수 있도록 합니다. 또한, 자체 진단 프로그램을 통해 사용자는 밸브 작업을 확인하고 시스템 매개변수를 모니터링 할 수 있습니다. OERLIKON LEYBOLD Univex 350은 신뢰할 수있는 원자로로, 다양한 재료의 박막을 쉽고 빠르게 증착 할 수 있습니다. 효율적인 설계와 운영 유연성을 통해 성능을 향상시켜, 산업용 (R&D) 과 연구용 (R) 에 이상적입니다.
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