판매용 중고 OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #293822750

ID: 293822750
빈티지: 2009
Physical Vapor Deposition (PVD) Metal evaporator Chamber 2009 vintage.
OERLIKON LEYBOLD Univex 350 (OERLIKON LEYBOLD Univex 350) 은 공정 조건에 대한 정확한 제어가 필요한 광범위한 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 다용도 및 고급 진공로 장비입니다. 이 최첨단 원자로는 다양한 박막 증착 프로세스, 표면 수정 및 재료 특성 연구에 탁월한 성능, 안정성, 유연성을 제공합니다. 유니벡스 350 (Univex 350) 의 핵심에는 정교한 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 있는데, 이 진공실은 고품질의 재료로 제작되었으며 정확하고 통제 된 프로세스에 필요한 초고진공 수준을 유지하기 위해 설계되었습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 가스, 증기 (Vapor) 및 추가 액세서리 도입을 위해 여러 개의 포트가 장착되어 있으며, 사용자는 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 원자로에는 고성능 마그네트론 스퍼터링 장치 (magnetron sputtering unit) 가 장착되어 있어 얇은 필름 (thin film) 이 뛰어난 균일성과 순도 (purity) 로 증착됩니다. 마그네트론 스퍼터링 소스는 금속, 산화물, 질화물, 합금 등 다양한 물질을 다양한 크기와 모양의 기질에 증착 할 수 있습니다. 고급 전원 공급 장치 및 공정 제어 소프트웨어는 필름 두께, 구성, 미세 구조를 정확하게 제어합니다. 마그네트론 스퍼터링 외에도 OERLIKON LEYBOLD Univex 350에는 전자 빔 증발, 열 증발, PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 와 같은 추가 소스가 장착되어 증착 기법 및 재료의 범위를 넓힐 수 있습니다. 이 다양성은 기계가 복잡한 다층 구조, 기능성 코팅 (functional coating) 및 특정 응용 분야에 맞춘 혁신적인 재료의 증착에 적합하게 만듭니다. 원자로에는 박막 성장, 표면 거칠기, 필름 특성에 대한 실시간 분석을위한 현장 내 도량형 시스템 (in-situ metrology system) 을 포함하여 종합적인 모니터링 및 진단 도구가 장착되어 있습니다. 통합 질량 분석기 (Integrated Mass Spectrometer) 는 증착 중 가스 구성 및 부분 압력을 정확하게 제어하여 재현 가능한 결과와 고품질 필름 성장을 보장합니다. Univex 350 은 고급 자동화 및 소프트웨어 제어 기능을 제공하며, 사용자는 프로세스 최적화 및 재현성을 위해 복잡한 증착 시퀀스, 레시피 관리, 데이터 로깅을 프로그래밍할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용자에게 친숙한 환경을 제공하여 초보자와 숙련된 연구원들 모두 쉽게 도구를 작동시킬 수 있습니다. 요약하면, OERLIKON LEYBOLD Univex 350은 최고의 성능, 유연성 및 박막 증착 프로세스를 제어하는 최첨단 진공 원자로 자산입니다. 첨단 기능, 정확한 모니터링 기능, 증착 기술의 다양성 등을 갖춘 이 원자로는 연구실, 대학, 산업용 연구개발 (R&D) 설비 (R&D) 에 이상적이다.
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