판매용 중고 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #9300286

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200은 상업 및 산업 응용 분야뿐만 아니라 연구 개발에 사용하도록 설계된 열 원자로입니다. 이 장비에는 유전체 RF 발전기와 가스 전달 시스템의 두 가지 구성 요소가 있습니다. 유전체 RF 생성기는 고에너지 플라즈마 재료를 생성하는 데 사용되는 고주파 전자기장 (High Frequency Electromagnetic Field) 을 유도하여 공정 매개변수의 정밀한 제어를 가능하게한다. 정확한 주파수 및 매개변수 제어, 고효율 및 온도 균일성이 특징입니다. "가스 '전달 장치 는 원자로 에 제어 된 반응물" 가스' 를 효율적 으로 공급 하도록 설계 되었다. 일반적인 전기 기계 제어 장치 (electromchanical control unit) 에서 실행되는 다단계 조합 조절 밸브 및 조절기를 사용합니다. 이를 통해 광범위한 압력 및 흐름 설정 (pressure and flow settings) 에서 반응물 가스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 내장 과압 보호 장치 및 기타 안전 기능을 갖춘 완전한 안전을 허용합니다. LEYBOLD KAI 1200에는 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 도 있습니다. 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 는 향상된 성능을 위해 원자로에 들어가기 전에 반응물 가스에서 입자를 제거하기 위해 필터를 사용합니다. 원자로에는 RF 코일 표면의 온도를 평가하기 위해 광학 피로미터 (optical pyrometer) 가 장착되어 있습니다. OERLIKON KAI 1200은 폴리머, 질화물, 산화물 및 금속과 같은 재료의 증착, 에칭 및 표면 변형과 같은 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 플라즈마 에칭, 금속 질소, 박막 증착과 같은 다양한 공정 레시피에서 사용할 수 있습니다. 이 도구는 광범위한 작동 압력 (Operating Pressure), 온도 (Temperition) 및 증착 속도 (Deposition Rate) 하에서 사용될 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. KAI 1200 은 다용도, 고성능, 안전한 반응 자산으로, 전자 제품, 항공 우주, 자동차, 의료 등의 업계에서 정밀한 재료 처리가 필요한 어플리케이션에 적합합니다.