판매용 중고 NOVELLUS Vector Sola UV cure #9285741

NOVELLUS Vector Sola UV 치료 원자로는 나노 임프린트 리소그래피를 위해 설계된 고급 광석판 장비입니다. 이 직접 UV 상표 프로세스는 프로그래밍 가능한 고 처리량 UV 치료 챔버를 특징으로합니다. 시스템의 자동 UV 제어는 각 리소그래피 단계에서 이상적인 UV 강도를 유지합니다. Vector Sola UV 치료 원자로는 전용 큐링 챔버가있는 고성능 직접 쓰기 플랫폼으로 구성됩니다. 이 장치는 다양한 각인 방법을 지원하고 고급 비전 (advanced vision) 시스템을 사용하여 정확한 패턴 배치 및 높은 정확도를 제공합니다. 고해상도 카메라는 인접한 노출 사이에서 전체 현장 검사 및 오버레이 측정을 허용합니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 각인에 대한 동적, 정적 접근 방식을 모두 지원하므로 다양한 응용 프로그램에 적합한 강력한 선택입니다. UV 치료 프로세스는 통합 환경 모니터링, 동적 단계 작업, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 등 여러 가지 고급 기능을 활용합니다. 자동화된 환경 제어 머신 (Automated Environment Control Machine) 은 최적의 치료 조건을 제공하며 전체 노출 순서에 걸쳐 일관된 에너지 전달을 제공합니다. 프로세스 뷰 창 (process view window) 을 사용하면 쉽게 모니터링할 수 있으며, 치료 모니터는 치료 진행 상황에 대한 피드백을 제공합니다. 또한, 이 툴에는 고급형 컨트롤러가 장착되어 있어 정확한 패턴 복제 및 반복성이 보장됩니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 에는 고급 광학 및 도량형 시스템도 포함되어 있으며, 내부 측정 및 패턴 품질에 대한 프로세스 조건의 효과에 대한 실시간 피드백이 가능합니다. 고급 이미징 에셋은 고화질 이미징 (HD) 과 저화질 이미징 (저화질) 을 모두 활용하여 리소그래피 패턴의 정확성을 직접 검사합니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 고출력 UV 광원과 광학이 통합되어 50 nm 이상의 해상도에서 고대비, 고정밀도 기능을 만들 수 있습니다. 벡터 솔라 (Vector Sola) 는 또한 단기 및 장기 패턴 메모리 기능을 모두 지원하므로 나중에 사용할 수 있도록 패턴과 패턴을 메모리에 저장할 수 있습니다. 이 기능은 어려운 웨이퍼를 최적화하고 복잡한 리소그래피 프로세스 (예: 조인트 채우기 또는 샴 본드 라인) 를 수행하는 데 이상적입니다. 요약하면, NOVELLUS Vector Sola UV 치료 원자로는 나노 임프린트 리소그래피 프로세스를위한 강력하고 고급 광 석판 학적 모델입니다. 이 장비는 자동 UV 제어, 고급 광학 및 도량형 시스템, 환경 모니터링, 동적 스테이지 작동 및 통합 패턴 메모리를 갖추고 있습니다. 정확한 패턴 복제, 정확한 오버레이 측정, 고대비 (high-contrast) 이미징 기능을 통해 정확한 애플리케이션을 선택할 수 있습니다.