판매용 중고 NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA (NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA) 는 매우 혁신적인 병렬 프로세스 증착 시스템으로, 다양한 웨이퍼 유형에 대해 높은 속도와 뛰어난 적합성을 제공하는 고급 프로세스 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치는 단일 플랫폼에 설치된 3 개의 병렬, 독립 및 통합 유한 처리 챔버를 사용하여 탁월한 프로세스 기능, 품질, 반복성을 제공합니다. CONCEPT 2 INOVA는 PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 프로세스의 최신 개발을 사용합니다. 3 개의 챔버 중 하나는 다른 챔버와 독립적으로 작용하는 반면, 여전히 전체 원자로 성능에 기여합니다. 각 방에는 자체 전자 레인지 (microwave) 소스가 장착되어 있으며, 각 웨이퍼에 독립적이고 최적화된 레이어를 배치 할 수 있습니다. NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVA는 제어 기술을 크게 개선하여 증착 환경을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 툴은 최첨단 자동화 (automation) 기능으로 설계되었으며, 사용자에게 완벽한 통합 및 자동화 기능을 제공합니다. 자동화된 머신 운영 (Automated Machine Operation) 은 처리량을 높이고 비용을 절감하는 한편, 기대되는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. CONCEPT 2 INOVA는 여러 가지 고급 기술을 사용하여 효율성과 처리량을 증가시킵니다. 이러한 기술에는 최적화된 가스 흐름이 가능한 고효율의 듀얼 프리 챔버 구성 (Dual Pre-Chamber Configuration) 이 포함됩니다. 마그네틱 셔터 기술 (Magnetic Shutter Technology) 은 가스 구름의 정확한 제어를 제공하며 고해상도 표면에 대한 정확한 가스 빔 제어를 가능하게합니다. NOVELLUS Asset CONCEPT 2 INOVA는 또한 고해상도 구조의 정확하게 제어 된 아크 제트 챔버 (Arc Jet Chamber) 를 가지고 있습니다. CONCEPT 2 INOVA는 산화물, 질화물, 금속 및 CMP 프로세스와 같은 동시 프로세스가 가능한 다기능 프로세스 플랫폼입니다. 또한 하위 ATM, 초저압 및 고압 작동 모드와 같은 다양한 증착 옵션을 제공합니다. 이 모델은 특정 고객/애플리케이션 요구 사항에 맞게 구성할 수 있는 유연성을 갖추고 있습니다. NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVA는 탁월한 프로세스 및 통합 기능 외에도, 광범위한 진단 툴을 제공하여 운영자에게 이 프로세스에 대한 포괄적인 개요를 제공합니다. 모든 작업 및 매개 변수에 대한 기본 모니터링 (내장) 을 통해 운영자는 이전에 이 프로세스의 변동과 이상을 감지할 수 있습니다. 또한, 내장된 프로세스 제어 시스템 (process control system) 은 반복 가능한 프로세스 결과와 머시닝 결과의 정확성과 안정성을 보장합니다. 컨셉트 2 이노바 (CONCEPT 2 INOVA) 는 모든 최신 고급 프로세스 제조 환경에 이상적인 솔루션으로 완벽한 기능을 제공합니다. 견고하고 안정적인 성능을 갖춘 NOVELLUS Unit CONCEPT 2 INOVA는 현대의 증착 프로세스의 요구를 충족하는 경제적이고, 다용도, 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.