판매용 중고 NOVELLUS Speed #9272639

NOVELLUS Speed는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 고속 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 혁신적인 설계로 확장 된 프로세스 윈도우로 빠른 멀티 스텝 증착이 가능합니다. 이는 사용자가 복잡한 집적 회로를 구축하기 위해 다양한 재료 (material) 와 공정 (process) 기술을 적용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 노벨 러스 스피드 (NOVELLUS Speed) 원자로는 CVD 기술의 최신 발전을 활용하여 매우 효율적이고 안정적인 증착 프로세스를 제공합니다. 단일 단계 고속 마그네트론 강화 플라즈마 소스를 포함합니다. 이 소스는 RF 일치 기능과 함께 가변 주파수 (Variable Frequency) 및 높은 피크 전력 (High Peak Power) 을 사용하여 코팅 프로세스를 제어합니다. NOVELLUS 스피드 (NOVELLUS Speed) 원자로는 전체 웨이퍼 표면에 균일성을 제공하면서 스피드 (Speed) 에서 고농도와 저농도의 물질을 모두 증착 할 수 있습니다. 증착 균일성을 향상시키기 위해 NOVELLUS Speed 원자로에는 2 단계 기판 히터가 장착되어 있습니다. 이 히터는 마그네트론과 함께 작동하여 원자로 챔버 전체에서 균일 한 온도를 유지합니다. 제 1 단 히터는 기판을 필요한 강착 온도까지 따뜻하게하고, 제 2 단 히터는 필요에 따라 온도를 조정하는 데 사용된다. 프로세스 안정성을 높이기 위해 Speed Reactor에는 고유한 Multi-Zone 프로세스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 필요에 따라 반응물 (reactant) 및 기타 프로세스 매개변수 (process parameters) 레벨을 자동으로 조정하여 이전에 불가능했던 방식으로 프로세스를 최적화합니다. 다중 영역 (multi-zone) 프로세스 제어 시스템과 고급 진단 (advanced diagnostics) 을 함께 사용하면 처리를 중단하지 않고 즉시 조정할 수 있습니다. NOVELLUS Speed Reactor (NOVELLUS Speed Reactor) 에는 제어 농도에서 광범위한 물질을 높은 속도로 증착 할 수있는 고급 반응물 전달 시스템도 포함되어 있습니다. 이러 한 배달 "시스템 '은 재현 할 수 있는 방법 으로 신속, 그리고 재사용 할 수 있는 정확 한 반응 농도 를 제공 하도록 설계 되었다. 또한, 전달 시스템에는 자동 시퀀싱 반응물 (sequenced reactant delivery) 이 장착되어 있어 단일 도구에서 다단계 프로세스가 가능합니다. 속도 원자로는 반도체 장치 제조를위한 완벽한 도구입니다. 노벨 러스 스피드 (NOVELLUS Speed) 를 제공하며 뛰어난 반복성과 균일성을 갖춘 매우 복잡한 집적 회로를 빠르게 구축하는 데 유연하게 필요합니다. 혁신적인 디자인과 첨단 기술로 스피드 리액터 (Speed Reactor) 는 안정적이고 효율적인 CVD 증착 프로세스를 찾는 사람들에게 최상의 선택입니다.