판매용 중고 NOVELLUS Speed #9262827

NOVELLUS Speed는 높은 생산성과 필름 품질을 위해 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 여러 개의 CVD 가스를 동시에 활용하는 고급 증착 장비 (Advanced Deposition Equipment) 로, 수동 시스템에서 달성 할 수있는 것보다 얇고, 밀도가 높으며, 일관성 있는 증착 레이어를 생성합니다. 이 혁신적인 원자로의 고급 설계 및 기능은 높은 레이어 증착률, 높은 처리량, 뛰어난 웨이퍼 균일성을 제공합니다. 속도는 펄스 플라즈마 전력 및 전달 시스템으로 구동됩니다. 이 장치 는 "플라즈마 '의" 가스' 동력 과 저압 을 저압 에서 고압 으로 생산 할 수 있다. 이렇게 하면 증착 (deposition) 이 정확하게 제어되고 최고 품질의 레이어가 생성됩니다. 통합 플라즈마 소스 발전기 (Plasma Source Generator) 는 펄스 주파수 (Pulse Frequency) 및 듀티 사이클 (Duty Cycle) 을 사용하여 원하는 공정 결과를 달성하기 위해 올바른 전력 및 압력이 원자로 실에 전달되도록 합니다. NOVELLUS Speed의 ED Graphite Magnetron Sputtering (GMS) 은 반응성 스퍼터링, 다중 계층 및 습식 에치를 포함한 추가 증착 기술을 지원합니다. GMS는 더 높은 밀도 레이어, 증착 속도 증가, 증착 균일성 향상, 재료 폐기물 감소 등을 생성 할 수 있습니다. GMS는 기존의 마그네트론 스퍼터링 시스템에 비해 최대 10 배 더 많은 이온화 효율을 제공합니다. 속도에는 프로세스 매개변수를 정확하게 측정할 수 있고 비정상적인 프로세스 조건을 빠르고 쉽게 감지 할 수 있는 고급 프로세스 모니터링 머신 (Advanced Process Monitoring Machine) 이 장착되어 있습니다. 이 도구는 각 원자로 챔버 (reactor chamber), 필름 두께 (film thickness), 오염 수준 (contamination level) 및 기타 여러 매개변수의 증착률을 실시간으로 추적합니다. NOVELLUS Speed는 Ebonite Microwave 기술을 사용하여 균일 한 가스 흐름 및 증착을 웨이퍼에서 웨이퍼로 보장합니다. 이 기술은 정교한 마이크로파 발전기 프로브를 사용하여 rf 챔버 내부에 균일 한 마이크로파 플라즈마 (microwave plasma) 필드를 생성하여 증착의 균질성과 고품질의 더 두꺼운 필름을 제공합니다. 이 "마이크로 '파" 플라즈마' 는 고급 장치 구조 와 설계 를 위한 "필름 '층 을 쉽게 무늬 로 만들 수 있다. 속도에는 표준 레시피를 자동화하는 가스 믹싱 에셋 (gas-mixing asset), 레시피의 변화를 추적하는 온라인 레시피 수정 모델 (online recipe model), 유출 시스템을 지속적으로 테스트하는 실시간 유출 탐지 장비 (real-time leak detection equipment) 와 같은 여러 자동 기능이 기본으로 제공됩니다. 노벨 러스 스피드 (NOVELLUS Speed) 는 또한 뛰어난 챔버 청소를 보장하기 위해 고급 자체 청소 기능을 제공합니다. 속도 (Speed) 는 고급 설계, 효율적인 전력 및 배송 시스템, 균일 한 마이크로파 플라즈마 필드, 자동 안전 및 프로세스 모니터링 시스템으로 인해 탁월한 증착 성능을 제공합니다. 노벨 러스 스피드 (NOVELLUS Speed) 는 저렴한, 높은 수익률 증착에 적합하며 고급 제조 공정의 발전에 진정한 리더입니다.