판매용 중고 NOVELLUS Speed #9262058

NOVELLUS Speed는 NOVELLUS Systems, Inc.에서 개발 한 고급 원자로 기술입니다. 고급형 반도체 제조 업계에서 더 빠르고, 더 비용 효율적인 프로세스와 생산이 가능하도록 설계된 고성능 (HPD) 원자로다. 이 원자로는 고급 지형 (advanced topographical) 방법을 사용하여 웨이퍼를 효율적인 방식으로 처리하여 전체 처리량을 증가시킵니다. 원자로는 일련의 공정 챔버 (process chamber) 로 구성되어 있으며, 오늘날 사용 가능한 가장 복잡한 제작 프로세스에 대해 더 높은 처리량을 제공하기위한 것입니다. 여기에는 화학 기계 평면 화 (CMP), 반도체 박막 증착, 노즐 기반 에치, 플라즈마 에치 및 웨이퍼 청소와 같은 프로세스가 포함됩니다. Speed의 중심에는 지형 균일 웨이퍼 모션 (TUWM) 웨이퍼 전송 기술이 있습니다. 이 기술은 자동 동작 추적 (automated motion tracking) 과 결합된 정밀한 감금 시스템을 사용하여 챔버 내에서 웨이퍼를 유지합니다. 이것은 증착 과정에서 일관된 패턴 모양을 보장합니다. 또한, TUWM 웨이퍼 운송 기술은 균일 지수 내 변동을 최소화하여 챔버 클리닝 (chamber cleaning) 의 필요성을 줄이고 잠재적 인 입자 오염을 줄입니다. NOVELLUS Speed Reactor는 또한 라디칼 플라즈마 소스 (RPS) 를 사용하여 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 최적화 된 플라즈마를 생성합니다. 이렇게 하면 강력하고 효율적인 플라즈마가 생성되어 고해상도 프로세스가 가능합니다. 또한 RPS에는 조정 가능한 전력 제어 기능 (Tunable Power Control Capability) 이 포함되어 있어 원자로가 챔버 내의 프로세스를 조정할 수 있습니다. 고급 속도 (Advanced Speed) 원자로는 고급 온도 제어를 사용하여 챔버 내에서 일관된 균일성을 보장합니다. 이렇게 하면 프로세스 챔버가 처리 주기 내내 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 구성 요소의 조합을 통해 NOVELLUS Speed Reactor는 비용 절감을 통해 처리량 및 제품 수율을 향상시킵니다. 전반적으로, Speed는 제조 처리량 향상을 위해 설계된 혁신적인 고급 제조 기술입니다. 이 원자로는 지형 균일 웨이퍼 동작, 라디컬 플라즈마 소스 (radical plasma source), 최적 온도 제어 (optimal temperature control) 와 같은 고급 기술의 결합 된 적용에 의존하여 일관성 있고 고품질 제작 프로세스를 제공합니다. 결과적으로, 이 기술은 반도체 제조 산업을 위해 빠르고, 효율적이며, 비용 효율적인 생산을 가능하게 합니다.