판매용 중고 NOVELLUS Sabre #9285084

NOVELLUS Saber는 고급 에치 및 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 고성능 원자로입니다. 혁신적인 프로세스 설계, 고급 재료, 지능적인 자동화 덕분에 탁월한 프로세스 균일성, 반복성, 생산성, 생산성을 제공할 수 있습니다. 이 장비는 수소 및 아르곤 기반 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 기반으로하며, 이는 최대 생산 처리량을 위해 균질하고 구속되지 않은 플라즈마 소스를 제공합니다. ICP 소스는 동적으로 구성된 ISPR (in-situ plasma reflectometer) 과 결합하여 정확하고 즉각적인 플라즈마 판독 값을 얻어 에치 및 증착 프로세스의 정확한 실시간 모니터링 및 피드백을 가능하게합니다. 세이버 (Sabre) 의 혁신적인 프로세스 설계를 통해 최대 6 개의 프로세스 모듈을 원자로에 동시에 프로그래밍 할 수 있으며, 각각은 자체 매개변수 세트를 갖습니다. 따라서 단일 프로세스 챔버 (process chamber) 내에서 여러 프로세스 시스템을 사용하는 것과 달리, 하나의 머신으로 여러 프로세스 단계를 최적화할 수 있습니다. NOVELLUS 세이버 (NOVELLUS Sabre) 는 또한 유연한 챔버 아키텍처를 갖추고 있으며, 다양한 에치 및 증착 어플리케이션을 위해 사용자 정의 할 수 있습니다. 다재다능한 챔버 디자인은 다른 수치 조리개 광학, 웨이브 가이드 캐리어, 프로세스 셔터를 사용하여 높은 증착률과 낮은 입자 생성을 달성합니다. 이 시스템은 모듈식 공정 제어 장치 (Modular Process Control Unit) 를 갖추고 있어 주요 공구 점검없이 원자로 머신을 쉽게 수정하고 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 사용자는 고급 진단 프로그램 제품군 (Diagnostics Suite) 과 예측 유지 관리 자산 (Predictive Maintenance Asset) 을 활용하여 모델 성능을 파악하고 가동 시간을 극대화할 수 있습니다. 마지막으로, 고급 자동화 기능인 세이버 (Sabre) 를 사용하면 대용량 처리량을 위해 반복 가능한 프로세스를 프로그래밍할 수 있습니다. 복잡한 알고리즘을 활용하여, 각 프로세스 레시피를 설계하고 최적화하여 생산량 및 생산량 (production throughput) 을 높이고, 비용과 에너지 소비를 줄일 수 있습니다. 노벨 러스 세이버 (NOVELLUS Sabre) 는 에치 앤 증착 (etch and deposition) 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 맞춤 될 수있는 고급 원자로 시스템입니다. 고성능 플라즈마 소스 (Plasma Source), 프로세스 유연성 (Process Flexibility) 및 자동화 기능을 갖춘 Saber는 최첨단 제품으로서 대용량, 고수율 생산 어플리케이션에 적합합니다.