판매용 중고 NOVELLUS Sabre XT #9183435

NOVELLUS Saber XT Reactor는 화학 증기 증착 (CVD) 응용을위한 견고하고 고성능 원자로입니다. 향상된 장치 지오메트리 (geometry) 및 까다로운 금속 증착 요구 사항을 포함하는 고급 웨이퍼 제작에 이상적입니다. NOVELLUS SABREXT Reactor는 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 소스 기술을 갖춘 고도로 생산적인 이중 구역, 핫 월 CVD 시스템입니다. 이 기술은 기판 크기에 관계없이 균일 한 레이어 및 고급 도펀트 프로파일 (advanced dopant profile) 을 보장하기 위해 매우 균일 한 플라즈마 분포를 생성합니다. Saber XT 원자로는 빠른 성장률을 보장하고 빠른 프로세스 설정 시간을 지원합니다. 사브렉트 (SABREXT) 원자로는 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 탁월한 프로세스 제어 및 반복성을 위해 설계되었습니다. 이중 영역 압력 제어 (Dual Zone Pressure Control), 레시피 기반 조향 (Recipe-based Steering) 및 분광형 현장 특성 (Spectroscopic in-situ characerization) 과 같은 고급 프로세스 제어 기술을 통해 가장 정확하고 효율적인 프로세스 제어를 구현합니다. 노벨 루스 세이버 XT (NOVELLUS Saber XT) 원자로는 기존 원자로 설계의 한계를 넘어 프로세스 최적화를 가능하게함으로써 고급 장치 치수 공차에 대한 뛰어난 웨이퍼 균일성을 제공하며, 뛰어난 산화물 품질을 제공합니다. 즉, 처리량을 저하시키지 않고 레이어 두께, 매끄러움 및 컴포지션 균일성을 매우 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 NOVELLUS SABREXT는 고급, 통합 RF 소스를 갖춘 유연한 듀얼 엔드 포인트 도핑 (Dual End-Point Doping) 을 제공하며, 엄격한 제어를 통해 더욱 빠른 열 및 광학 웨이퍼 온도 측정이 가능합니다. 이러한 모든 기능을 통해 Saber XT 원자로는 MRAM (Magnetic Random-Access Memory), DRAM (Dynamic Random-Access Memory) 및 NVM (Non-Volatile Memory) 과 같은 최첨단 응용 프로그램의 대용량 제조에 적합합니다. 따라서 SABREXT 원자로는 최첨단 기능 덕분에 고수율, 고품질 CVD 프로세스에 이상적인 선택입니다. 탁월한 프로세스 반복성, 향상된 균일성 및 웨이퍼 처리 정확성으로 인해 NOVELLUS Saber XT는 프로토 타입 프로젝트에 도전하는 데 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션이되었습니다.