판매용 중고 NOVELLUS Sabre XT #9146195

노벨 러스 세이버 XT (Novellus Saber XT) 는 대규모 장치 제조 산업의 강화되는 요구를 충족시키기 위해 설계된 단일 웨이퍼, 다중 반응기 장비입니다. IGBT, MOSFET, GaN 또는 기타 장치를 사용하는 NOVELLUS SABREXT는 다양한 프로세스 (최신 3DIC 고급 패키지 포함) 에서 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 최적의 성능을 제공할 수 있습니다. 세이버 XT (Saber XT) 는 특허를받은 다중 원자로 설계를 자랑하며, 이를 통해 단일 도구에서 다중 증착, 에치 및 임플란트 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 혁신적인 원자로 설계를 통해 교차 오염 없이 웨이퍼 (wafer) 를 병렬로 처리할 수 있으며, 여러 처리 도구를 동시에 사용할 수 있습니다. 사브렉트 (SABREXT) 는 단일 웨이퍼에 더 높은 처리량을 제공하는 것 외에도, 단일 레시피 내에서 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 하이브리드 제조 방식은 단일 웨이퍼 성능의 유연성을 통해 일괄 처리 방식의 생산을 가능하게합니다. NOVELLUS Saber XT (NOVELLUS Saber XT) 에는 온도 및 압력 조절을 포함하여 챔버의 모든 영역에서 통제 된 환경을 허용하는 고급 다중 영역 진공 시스템이 있습니다. 이 기능은 처리 속도를 최적화하고, 여러 진공 영역 (vacuum region) 을 통해 오염을 줄이고, 펌프 다운 작업에 소요되는 시간을 최소화하기 위해 설계되었습니다. NOVELLUS SABREXT는 또한 가스 압력, 웨이퍼 온도, 챔버 압력 등 프로세스의 모든 측면을 모니터링하는 소프트웨어 도구를 포함한 고급 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이 모니터링을 통해 처리 전과 처리 중에 원자로 상태를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다 (영문). 마지막으로 Saber XT는 HDP, CVD, ALD, PECVD 등을 포함한 고급 증착 수준에 이상적인 플랫폼을 제공하도록 설계되었습니다. 다원자로 구성을 통해, SABREXT는 가장 까다로운 증착 요구를 처리하고, 일관되게 탁월한 균일성과 반복성을 제공할 수 있습니다. 결론적으로 NOVELLUS Saber XT는 초대형 장치 제조 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 특허받은 멀티 리액터 설계, 고급 멀티 존 진공 장치 (Multi-Zone Vacuum Unit) 및 고급 모니터링 시스템을 통해 NOVELLUS SABREXT는 광범위한 애플리케이션을 위한 포괄적 인 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 고성능 다원자로 증착기가 필요한 제조업체에게는 세이버 XT (Saber XT) 가 이상적인 솔루션입니다.