판매용 중고 NOVELLUS Sabre XT #9104570

Lam Research Corporation에서 설계 및 제조 한 NOVELLUS Saber XT는 차세대 원자력 증착 (ALD) 원자로입니다. 노벨 루스 사브렉스 (NOVELLUS SABREXT) 는 웨이퍼 제작의 혁신적인 개념으로, 매우 정확하고 균일 한 층에서 박막 코팅을 증착 할 수 있습니다. ALD는 반도체, 고급 광학과 같은 고정밀 산업에 사용되며, Saber XT는 이러한 목적으로 최적화되었습니다. SABREXT의 코어 아키텍처는 PEALD (Plasma Enhanced ALD) 설계를 기반으로 하여 오늘날의 고급 구성 환경에서 고유한 과제를 해결할 수 있습니다. 원자로에는 다단계 온도 조절, 고증착 속도, 화학 전구체 전달 등 다양한 공정 기능이 장착되어 있습니다. 또한 열 및 자외선 어닐링, 스핀 코팅, 용매 어닐링 등의 표준 프로세스 요구를 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Saber XT는 정확하고 반복 가능한 증착 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 정밀 제어 플라즈마 소스의 범위는 500 ~ 5,000 와트이며, 분산 온도 제어 시스템은 웨이퍼 사이의 정확한 온도 균일성을 가능하게합니다. 또한, 고정밀 노즐은 화학 전구체 전달을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 결론에 관해서는, NOVELLUS SABREXT (NOVELLUS SABREXT) 는 또한 품질 저하 없이 프로세스 주기 및 스크랩 (스크랩) 을 크게 줄입니다. 유연한 디자인과 빠른 처리 속도를 통해 제품 출시 시간을 단축할 수 있습니다. 첨단 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control Systems) 은 생산량을 향상시키고 재료 비용을 절감하며, 자동 모니터링 시스템은 제작하는 동안 수작업을 줄입니다. 결론적으로, Saber XT ALD 원자로는 반도체 및 광학 산업에 상당한 이점을 제공하며, 모든 고급 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 현재 시판되고 있는 다른 ALD 시스템과는 달리 정확성과 정확성을 제공하므로 제품 대 시장 (product-to-market) 시간이 단축되고 스크랩 (scrap) 이 줄어듭니다.