판매용 중고 NOVELLUS Sabre XT #293713734
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
NOVELLUS Saber XT는 공정 환경을 정확하게 제어하기 위해 ICP (inductively coupled plasma) 소스, 반응 챔버 및 조정 가능한 가스 공급으로 구성된 원자로입니다. ICP 소스는 RF 에너지를 사용하여 고르게 분산 된 방식으로 소스에서 바깥쪽으로 확산되는 프로세스 가스의 여러 플라즈마 플럼 (plasma plume) 을 생성합니다. "플라즈마 '의 근원 은 잘 조절 할 수 있어서 여러 가지" 플라즈마' 공정 에 대한 요구 조건 에 맞추어 조정 할 수 있다. 반응 "챔버 '는" 가스' 와 압력 을 신속 하고 정확 하게 조정 할 수 있어서, 공정 환경 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이 원자로는 CVD, PECVD 및 플라즈마 에칭과 같은 많은 프로세스에 적합합니다. NOVELLUS SABREXT는 유연하고 고효율 원자로입니다. 넓은 온도 범위 (WTR) 를 견딜 수 있으며, 넓은 온도 범위가 필요한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한, 조정 가능한 RF 피드를 사용하면 플라즈마의 에너지 밀도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 "실리콘 '산화물 및 질화물" 실리콘' 과 같은 여러 가지 물질 의 얇은 층 을 기판 에 증착 시키는 과정 을 가능 하게 한다. 이 기능을 사용하면 기판을 보다 효율적으로 플라즈마 에칭 및 청소할 수 있습니다. 세이버 XT (Saber XT) 원자로에는 사용자 및 장비를 보호하기 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 매우 엄격한 온도, 압력 범위 내에서 작동하도록 설계되었으며, 프로세스 오류 (process error) 나 오작동 (오작동) 시 신속하게 종료할 수 있습니다. 또한 "가스 '유동" 센서' 가 장착 되어 있어 공정 환경 을 빠르고 정확 하게 조정 할 수 있다. 이것 은 유해 "가스 '가 상공 에서 신속 히 제거 되는 것 을 보장 해 주며, 그 로 인해 상해 가 생길 수 있다. 전반적으로 SABREXT 원자로는 많은 플라즈마 기반 프로세스에 대해 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 조절 가능한 RF 피드를 통해 플라즈마의 에너지 밀도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 안전 (safety) 기능은 추가 마음의 평화를 제공합니다. 다양한 재료 및 공정 옵션 (material and process options) 은 원자로를 반도체 제작에 사용할 이상적인 선택으로 만듭니다. 또한, 프로세스 환경을 신속하게 재조정하는 기능은 프로세스가 안전하게 유지되고, 잠재적 인 플럼 (plume) 의 유해 가스가 챔버에서 빠르게 제거되도록 보장합니다.
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