판매용 중고 NOVELLUS Sabre XT #293604340

NOVELLUS Saber XT는 반도체 제조에서 최첨단 성능 요구 사항을 충족하도록 설계된 디지털 단일 웨이퍼 고급 원자로입니다. NOVELLUS Advanced PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기술을 통해 고속 및 에너지 효율에서 웨이퍼 표면에 화합물을 전달합니다. 원자로 (Reactor) 는 단단하고 부식에 강한 재료로 만들어졌으며, 유지 보수가 단순화되고 비용이 많이 드는 장비 수정의 필요성이 줄어드는 자체 포함 설계를 갖추고 있습니다. 강력한 3 단계 증착 시스템은 단단하고 복잡한 사양을 충족시킬 수있는 증착 (deposition) 과정을 정확하게 제어합니다. NOVELLUS SABREXT의 독보적인 다기능 시스템 아키텍처에는 고온 프로세스를 지원하는 고용량, 고출력 RF 생성기가 포함됩니다. 발전기는 RF 간섭을 최소화하면서 플라즈마 밀도가 웨이퍼 (wafer) 표면에서 일관성을 유지하도록 최적화되었습니다. 또한 공정 수요에 빠르고 효과적으로 반응하는 저전력 기판 온도 컨트롤러 (LP) 가 특징입니다. 세이버 XT (Saber XT) 의 통합 설계를 통해 전문 코팅, 필름, 고급 자료 등 광범위한 제품 포트폴리오를 최대한 활용할 수 있습니다. 또한, 향상된 적용 범위, 균일성 및 선택성을 제공하여 최고의 수익률을 보장합니다. 또한 SABREXT는 효율적인 원자로 주기 시간 관리 기능을 제공하며, 프로세스 모니터링 기능이 향상되어 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 효율성 향상을 위해 NOVELLUS Saber XT 시스템에는 자동 청소 기능이 포함되어 있어 Ops, process 및 레시피를 빠르고 쉽게 변환 할 수 있습니다. 이 기능은 가장 유연하고 강력한 반도체 (semiconductor) 원자로에 포함되어 있으며, 고급 제조 환경에서 사용하기에 적합합니다. NOVELLUS SABREXT (NOVELLUS SABREXT) 는 높은 생산성 및 수익률을 요구하는 고객에게 이상적인, 일관되게 높은 성능, 낮은 소유 비용 및 낮은 주기 시간을 제공합니다. 게다가, 통합된 설계와 기능으로 인해 이 원자로는 안정적이고 걱정 (worry-free) 할 수 있으며, 안정적이고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 유연성 있는 설계 는 필요 한 대로 손쉽게 유지 관리 하고 업그레이드 할 수 있게 해 주며, 따라서 반도체 제조 공정 (manufacturing process) 은 항상 최적 의 속도 로 실행 됩니다.