판매용 중고 NOVELLUS Sabre Next #9384191

NOVELLUS Saber Next는 차세대 고성능 PECVD 원자로로, 장치 성능 및 기능 개선 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 최신 NOVELLUS PECVD 도구 제품군이며, 고급 메모리, 논리 및 RF 응용 프로그램에서 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. Saber Next 원자로는 장치 처리량 및 수율을 향상시키기 위해 설계된 수많은 기능을 제공합니다. 예를 들어, 2 개의 업계 최고의 프로세스 챔버를 사용하여 챔버 압력 (chamber pressure), 증착률 (deposition rate) 및 1 단계 균일성 (first-level uniformity) 을 포함하여 증착 과정에서 가장 중요한 매개 변수 중 일부를 정밀 제어합니다. 이렇게 하면 각 디바이스의 요구 사항에 맞게 프로세스를 조정할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 간에 높은 수준의 프로세스 일관성을 제공합니다. NOVELLUS Saber Next는 또한 가스 흐름, 압력 및 온도와 같은 프로세스 매개변수의 정확한 조정을 허용합니다. 이것은 정밀한 압력과 온도 안정성을 유지하면서 일관되고 안정적인 가스 흐름을 보장하는 펌프 제어 가스 전달 시스템 (pump-controlled gas delivery system) 에 의해 촉진됩니다. 따라서 개별 디바이스 애플리케이션에 맞게 프로세스를 손쉽게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 또한, Sabre Next 의 통합 오류 수정 및 데이터 추적 메커니즘을 통해 사용자는 문제를 빠르고 효율적으로 진단하고 해결할 수 있습니다. 이는 시스템 성능에 대한 실시간 진단을 제공하는 일련의 피드백 (feedback) 제어 알고리즘을 통해 이루어집니다. 또한, 이러한 메커니즘은 프로세스 매개변수 및 결과에 대한 요약 정보를 제공하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자에게 제공됩니다. 전반적으로 NOVELLUS Saber Next는 장치 성능 및 수율을 최대화하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 사용자 정의 가능한 프로세스 챔버 (process chamber) 및 오류 수정/데이터 추적 메커니즘은 제조 프로세스의 중요한 측면을 완벽하게 제어하는 반면, 직관적인 GUI 를 통해 사용자가 손쉽게 프로세스를 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. Saber Next 는 고급 메모리, 논리, RF 애플리케이션의 디바이스 성능 및 기능을 개선하려는 기업에 이상적인 툴입니다.