판매용 중고 NOVELLUS Sabre Next #9281286

노벨 루스 세이버 넥스트 (Novellus Saber Next) 는 다양한 기판에 하나 이상의 초박형, 등각 필름을 퇴적시키는 데 사용되는 차세대 원자층 증착 (ALD) 원자로입니다. 이것은 펄싱 가스 소스 (pulsing gas source) 를 사용하여 원자로 챔버에 종을 전달하고, 여기서 기질과 반응하여 나노 미터 규모의 필름이 증착된다. 증착 과정은 매우 반복 가능하며, 두께, 커버리지, 조성을 정확하게 제어 할 수있는 필름을 만들 수 있습니다. 세이버 넥스트 (Saber Next) 원자로는 ALD 기술과 고급 컴퓨터 시스템, 효율적인 엔지니어링을 결합하여 뛰어난 필름 속성과 반복성을 제공하는 플랫폼을 만듭니다. 여기에는 직관적인 사용자 인터페이스 제어 및 자동화된 재료 처리 (Automated Material Handling) 가 포함되어 있어 운영자의 개입을 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 원자로의 주택은 메인 챔버 (Main Chamber), 여러 가스 소스가있는 가스 전달 장비 (Gas Delivery Equipment) 및 기판 홀더를 포함한 여러 부분으로 구성됩니다. 원자로에는 난방 장치, 냉각 장치, 진공 기계 및 배기 도구가 포함됩니다. NOVELLUS Saber Next 원자로는 특허를받은 펄싱 가스 전달 자산을 사용하여 증착을 정확하게 제어합니다. 이 모델은 일련의 자기 컴포넌트 (magnetic component) 로 구성되며, 이 컴포넌트는 반응물 펄스가 특정 예측 가능한 패턴으로 이동하도록 하는 필드를 생성합니다. 이로 인해 균일 한 필름 증착이 발생하여 정확하고 재현 가능한 구성이 가능합니다. 또한 Saber Next 에는 자동화된 재료 처리 장비, 실시간 프로세스 모니터링 (Real Time Process Monitoring), 다중 영역 설정 지점 (Multi-Zone Set Point), 프로세스 오류의 위험을 줄이고 통계적 프로세스 제어를 가능하게 하는 뛰어난 내결함성 (Fault Tolerance) 등의 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 다양한 애플리케이션 요구 사항에 맞게 프로세스를 손쉽게 확장할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Saber Next는 한 개 이상의 나노 미터 규모의 필름을 반복 가능한 고품질 증착을 제공하는 차세대 고급 ALD 원자로입니다. 첨단 박막 전자, 광학, 금속의 화학 증기 증착 (chemical vapor deposition) 등 다양한 기판 및 응용 분야에 적합합니다.