판매용 중고 NOVELLUS Sabre 3D #9179871
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ID: 9179871
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Electro chemical deposition (ECD), 12"
Single module
Configuration:
(1) PVC-4910 (SABRE 3D Single module)
(1) KB & Athena remote
(1) Additional (Third) FOUP - 300 mm
(1) RFID Reader (3) FOUP
(1) OHV CA Head-On transmission
(1) LT Front & rear (4) colors
(1) Aligner
(1) (2) APT Duets (4910)
(1) Chemical ADM (TSV Only)
(1) EBR 4910, (2) Duets
(1) TSV Copper
(1) 8 x 0 Config 1 Ba
(1) TF10000 With heater
(4) 300 mm, 1.00 EE, 0.40 mm Cont
(4) Copper TSV process package
(4) Degasser
(1) SABRE 3D Single, 2 APT, 2 EBR/SRD
(4) Cell specific flow meters
(1) NSR 17, NSR 1087310 Pneumatic flow switch
(1) NSR 18, Tool ladder 71-299012-00
(4) 9.5A, 750W Serial
(1) NSR 1, 845-154096-001 Trough vent, ver C
(1) NSR 2, 845-211454-001,KIT,SBR-3D,Bath R
(1) NSR 3, SW CESPTC53073A, Plate, leveling F
(1) NSR 4, Blue900109 BE Robot 8 cell
(1) NSR 5,CESPTC52432A Factory int ionizer
(1) NSR 6, 845-175917-001 8c Video monitor
(4) NSR 7, SW 856-155785-001 Kit UPGRD, TR 4
(1) NSR 8, 845-192680-001 KIT,SBR-3D,1087310
(1) NSR 9, Blue900137, Aligner, vortex,300 mm
(1) NSR 10, SW, 02-414924-02, ASSY,Drip pan,P
(1) NSR 11, SW, 02-443139-02, ASSY,Drip pan
(1) NSR 12, SW, 27-403019-00, Pump DI water
(1) NSR 13, SW, 857-170700-101, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 14, SW, 857-170700-102, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 15, SW, 856-200391-001, KIT,UPGRD,AI
(1) NSR 16, SW, 856-200391-002, KIT,UPGRD,AI
Currently installed
2015 vintage.
NOVELLUS Saber 3D는 화학 증기 증착 (CVD) 과 원자층 증착 (ALD) 이라는 두 가지 주요 기술을 결합한 혁신적인 반도체 처리 원자로입니다. 반도체 제조에 사용되는 초박층 (ultra-thin layer) 재료의 제작을 촉진하기 위해 설계되었습니다. 이 장비는 견적 처리 (deposition process) 에서 탁월한 정밀도와 제어를 제공하여, 주기 시간 (cycle time) 및 수율에 영향을 줄 수있는 기타 프로세스 비용을 크게 줄입니다. 세이버 3D (Saber 3D) 는 증착과 에치 작업에 CVD와 ALD를 조합하여 빠르고 안정적이며 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 산소와 다양한 비활성 가스로 구성된 고출력 가스 소스를 사용하여 '단색' 및 '슈퍼 클린' 환경을 만듭니다. 이를 통해 표면 결함 또는 오염이없는 초박막 (ultra-thin film) 이 가능하므로 증착 과정에 대한 뛰어난 제어가 가능합니다. NOVELLUS Saber 3D 원자로는 플라즈마 발전기, 챔버 및 전원 공급 장치의 3 가지 기본 모듈로 구성됩니다. 플라즈마 생성기는 피로 제닉, 비 열 플라즈마를 생성하는 전자 레인지 단위입니다. 이것은 기질에서 얇은 필름의 분자 활성화 및 증착을 담당한다. 챔버는 시스템의 플라즈마 및 원자로 부분을 수용하는 진공 밀봉 인클로저입니다. 일관되고 깨끗한 환경을 유지하여 반복 가능한 프로세스를 유지하도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치 (power supply unit) 는 플라즈마를 점화하고 유지하는 올바른 전류를 제공합니다. Saber 3D 원자로는 광범위한 온도 범위 (90 ° C ~ 500 ° C) 를 가지므로 여러 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 고급 자동화 및 제어 기능 (인사이트 (in-situ) 프로세스 모니터링을 위한 고정밀, 통합 옵티컬 유닛 포함) 을 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 문제를 신속하게 파악하고, 프로세스 개선을 위한 신속한 피드백을 얻을 수 있습니다. 마지막으로, NOVELLUS Saber 3D 원자로는 모든 공정 제어 기계와 쉽게 연결됩니다. 따라서 데이터 수집, 분석, 프로세스 최적화를 통해 가동 시간과 수율을 극대화할 수 있습니다. Saber 3D 원자로는 효율적이며 비용 효과적이며 안정적이고 반복 가능한 예금 특성을 제공합니다. 대용량, 고품질 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다.
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