판매용 중고 NOVELLUS MB2 #9311835
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NOVELLUS MB2 원자로는 박막 증착 공정에 사용되는 고정밀 화학 증착 장비입니다. 다중 축, 다중 스테이션 도구로서 최고 수준의 성능과 생산성을 제공합니다. MB2는 실리콘 웨이퍼, 유리 기판, 쿼츠, 플라스틱 등 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 재료와 애플리케이션에서 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. NOVELLUS MB2 (NOVELLUS MB2) 는 다중 스테이션, 고정밀 광학 추적 시스템을 사용하여 기판의 위치와 방향을 모니터링한 다음 프로세스의 매개변수를 적절히 조정합니다. 또한 이 장치는 최적의 결과를 얻기 위해 사용자에게 피드백을 제공합니다. 기계는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 자동으로 조정하여 기판을 최고 품질과 일관성 (consistency) 으로 배치하도록 설계되었습니다. MB2 는 품질 (Quality) 및 생산 모니터링 (Production Monitor) 에 모두 사용될 수있는 다양한 프로세스 및 현장 도량형 툴을 갖추고 있습니다. 이러한 도구는 기판의 특성 (예: 표면 품질, 증착의 균일 성, 결정 구조, 입자 수) 을 모니터링하는 데 사용됩니다. 이를 통해 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있으며, 높은 일관성을 보장할 수 있습니다. NOVELLUS MB2는 단일 및 다중 계층 증착, 대면적 반도체 증착, 광범위한 나노 구조 등 다양한 재료를 처리하도록 구성 될 수 있습니다. 이러한 재료는 고성능 트랜지스터, 반도체 장치, 고급 메모리, 저장 장치, OLED 디스플레이 등 여러 응용 프로그램에 대해 처리 할 수 있습니다. MB2 는 뛰어난 프로세스 유연성을 제공하여 다양한 크기, 모양, 구성으로 기판을 처리할 수 있습니다. 또한 높은 수준의 통합 (integration) 기능을 통해 실험실 환경에서 다른 툴과 쉽게 상호 작용할 수 있습니다. NOVELLUS MB2는 아르곤, 산소, 수소, 염소 및 기타 공정 관련 가스를 포함한 여러 가스로 작동 할 수 있습니다. MB2 원자로 (MB2 Reactor) 는 높은 정밀도 프로세스 및 도량형 기능과 견고하고 정확한 광학 추적 도구를 결합하여 사용자에게 최고의 성능과 효율성을 제공합니다. 탁월한 프로세스 및 도구 통합을 통해 노벨러스 MB2 (NOVELLUS MB2) 는 모든 랩 (lab) 설정에 이상적인 툴로, 다양한 재료와 응용 프로그램에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
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