판매용 중고 NOVELLUS Inova #9390623

노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 원자로는 극도로 세밀한 필름을 증착 할 수 있도록 설계된 최신 고급 원자로 플랫폼입니다. 노벨 러스 알레 타 (NOVELLUS ALETA) 소프트웨어로 구동되는 독보적인 통합 폐쇄 루프 (closed loop) 프로세스 제어 장비를 사용하여 전체 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 최첨단 시스템을 사용하면 기판의 성능을 최적화하기 위해 증착율 (deposition rate), 영역 균일성 (area unifority), 필름 응력 (film stress) 을 포함한 필름 매개변수를 정확하게 정의할 수 있습니다. 이노바 (Inova) 원자로는 냉음극 토치를 사용하여 반응성 이온 플라즈마 (reactive ion plasma) 를 생성하며, 고주파 무선 주파수 원과 함께 균일 한 이온화 가스 (ionized gas) 를 제공하며, 고급 고성능 전자 충격원을 사용하여 이온의 자유 흐름을 만듭니다. 자석 홀더 (magnet-holder) 는 정전기적 프로세스와 비교할 때 보다 일관되고 반복 가능한 프로세스를 만들 수 있습니다. 통합 액티브 가스 전달 장치 (Active Gas Delivery Unit) 는 가스의 흐름과 구성을 정확하게 제어하여 향상된 필름 균일성과 반복 성을 가능하게합니다. NOVELLUS 이노바 (Inova) 원자로는 또한 온도 안정성과 균일성을 높여 영화 품질을 향상시키는 독특한 압력 제어 모듈을 갖추고 있습니다. 첨단 공정 제어 기능 외에도, 이노바 (Inova) 원자로에는 몇 가지 혁신적인 안전 프로토콜이 있습니다. 폭발성 방지 센서 (Anti-Explosive Sensor) 가 통합되어 있는 사용자는 챔버 내의 폭발성 대기로부터 보호됩니다. 자동 차단 기계는 고압 스파크를 방지하여 챔버에 잠재적 인 손상을 초래할 수 있습니다. 향상된 챔버 보호 기능에는 열 흐름 관리 (Heat Flow Management) 및 전력 제어 (Power Control) 기능이 포함되어 있어 열 안정성과 냉각 기능이 뛰어납니다. 노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 원자로는 가장 까다로운 증착 공정의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 플랫폼입니다. 이노바 원자로 (Inova Reactor) 는 고급 프로세스 제어, 향상된 안전 프로토콜, 최적의 열 안정성을 제공하여 이전 원자로 플랫폼에 비해 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. NOVELLUS Inova 원자로를 사용하면 프로세스 시간 단축, 처리율 향상, 필름 품질 향상 등 원하는 결과를 얻을 수 있습니다.