판매용 중고 NOVELLUS Inova #9384622

노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 반도체 응용을위한 고품질의 박막 증착을 용이하게하도록 설계된 증착로입니다. 이노바 (Inova) 는 가장 효율적인 방식으로 최고 품질의 필름을 생산하기 위해 높은 종횡비, 높은 정확도, 뛰어난 플럭스 제어를 결합합니다. 원자로는 이중 챔버 (dual chamber) 구성으로 설계되어 필름을 5 nm만큼 얇게 배치 할 수 있습니다. NOVELLUS Inova에는 강착 중에 입자와 잔해가 축적되는 것을 방지하는 독점적 인 정전기 척이 있습니다. 이것은 오염의 위험을 줄이고 웨이퍼 균일성을 향상시킵니다. Inova는 또한 독특한 두 번째 챔버 디자인을 사용합니다. 이 로 말미암아 각기 다른 온도 와 압력 수준 에서 정확 한 "플럭스 '조절 을 할 수 있게 되어" 웨이퍼' 전체 의 우수 한 균일성 을 만들어 내고, 퇴적 "필름 '의 성능 을 높일 수 있다. 원자로 (Reactor) 는 또한 플라즈마 (Plasma) 기반 증착 기법으로 설계되어 증착 속도를 정확하게 제어하고 필름 성능의 신뢰성을 높입니다. NOVELLUS Inova는 TCVD (Thermal Chemical Vapor Deposition), ALD (Atomic Layer Deposition) 및 PVD (Physical Vapor Deposition) 를 포함한 다양한 증착 과정에서 사용할 수 있습니다. 또한, 이노바 (Inova) 에는 강력하고 다양한 증착 도구가 있습니다. 고급 제어 소프트웨어를 사용하면 프로세스 변수를 정확하고 반복적으로 제어 할 수 있습니다. 노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 또한 웨이퍼 전체에 증착률과 균일성조차도 생산하는 조정 가능한 벨로우 시스템을 갖추고 있습니다. 원자로에는 또한 증착 된 필름의 무결성을 지속적으로 확인하는 정교한 광학 모니터링 시스템 (optical monitoring system) 이 있습니다. 전반적으로, Inova는 우수한 성능과 수율을 제공하는 고급 증착 원자로입니다. 이중 챔버 디자인은 안정적이고 일관된 증착을 제공하며, 조정 가능한 벨로우 시스템은 균일성과 정확성을 보장합니다. 노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 전 세계 반도체 산업에서 높은 품질의 박막 증착을 제공하는 강력한 도구입니다.