판매용 중고 NOVELLUS Inova #9284588

NOVELLUS Inova는 집적 회로의 대용량 생산에 사용되는 도구입니다. 멀티 웨이퍼, 고정밀 플라즈마 기반 PVD (Physical Vapor Deposition) 도구로 웨이퍼 제조를위한 고급 증착 기능을 지원합니다. 이 장비는 showerhead 및 source-high-lift 처리 기능을 갖추고 있으며 증착 균일성 (deposition unificity), 뛰어난 두께 제어, 처리량 성능 향상을 통해 고급 제품 증착을 가능하게 설계되었습니다. 이 시스템은 showerhead, low-k film deposition engine, low-k backside drop engine, high-lift source, process chamber 및 scrubber를 포함한 여러 구성 요소가있는 중앙 본체로 구성됩니다. showerhead에는 단일 입구 및 여러 배기 콘센트가있는 믹싱 챔버가 포함됩니다. 또한 조정 가능한 가스 디퓨저 플레이트 (gas diffuser plate) 와 조정 가능한 노즐 (nozzle) 이 있어 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 저 k 필름 증착 엔진은 고 리프트 소스와 함께 작동하여 뛰어난 필름 증착 기능을 제공합니다. 멀티 존 제어 기술은 다양한 로우 k 박막 (low-k thin film) 의 정확한 증착을 보장하며 높은 전기 전도성, 기계적 안정성, 핀홀 또는 필름 결함 없음 등 원하는 특성을 달성합니다. low-k 백사이드 드롭 엔진은 showerhead와 함께 작동하여 low-k 백사이드 드롭을 입금합니다. 이를 통해 효율적인 장치 격리를 보장하고 고급 리소그래피를 활성화할 수 있습니다. 고해상도 소스는 사전 제작 및 사후 제작 프로세스를 수행합니다. 공정 주입 장치 (process injection unit) 와 균일성 조정기 (uniformity adjustment machine) 를 포함한 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 고해상도 소스는 고속 모드로 작동하여 높은 처리량을 보장합니다. 공구의 공정 챔버에는 다중 소스 (multiple source) 와 플라즈마 토치 (plasma torch) 가 장착되어 있어 증착률이 높습니다. 스크러버 (scrubber) 는 화학 오염 물질을 제거하기 위해 공정 챔버와 함께 작동하여 자산이 환경 및 건강 표준을 충족하도록 합니다. 이노바 (Inova) 는 웨이퍼 제작에 적합하여 뛰어난 성능 특성을 가진 로우-k 박막 증착을 가능하게합니다. 한 번에 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으므로 처리량이 증가하고 장비 변경이 빈번하게 이루어질 필요가 없습니다. 이로 인해 다운타임이 줄어들고 운영 효율이 향상됩니다. 또한, 이 모델은 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공하므로 대용량 (Mab-Volume) 생산 환경에 이상적인 솔루션입니다.