판매용 중고 NOVELLUS Inova #9272601

NOVELLUS Inova는 박막 광전자 (Thin-film optoelectronics) 의 증착, TFT (Thin-film Transistor) 및 반도체 산업의 다른 고급 재료와 같은 응용 프로그램의 처리량을 극대화하고 비용을 줄이기 위해 설계된 혁신적인 플라즈마 강화 화학 증기 증착 원자로입니다. 이노바 플라즈마 소스 (Inova plasma source) 는 단순하고 신뢰할 수 있는 설계를 활용하여 활기차고 비열성 플라즈마를 생성하며 광범위한 플라즈마 파라미터 (plasma parameter) 및 열 예산 요구사항으로 조정할 수 있는 특허를 받은 기술입니다. 이 원자로의 독특한 디자인은 또한 사용자 정의 가능한 입자 가속을 제공하며 RF 또는 DC 전원으로 작동 할 수 있습니다. NOVELLUS Inova 플라즈마 소스는 최소 밀도, 두께 및 균일 성 요구 사항을 가진 장치를 생산하기 위해 최대 6 mTorr 및 최대 700 C의 압력으로 작동 할 수 있습니다. 원자로에는 가변 주파수 (variable frequency) 와 온도 램프 시스템 (temperature ramping system) 과 같은 여러 가지 추가 기능이 포함되어 있으며, 이는 플라즈마 환경을 추가로 제어합니다. 이노바 (Inova) 는 특정 응용을위한 사전 결합 된 것을 포함하여 사실상 모든 가스 화학과 함께 사용될 수있다. 또는, 이진 및 3 차 가스 화학을 사용하여 원하는 효과와 결과를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 NOVELLUS Inova를 정밀도와 정확도가 가장 중요한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 또한 고유 한 이노바 (Inova) 설계에는 자체 청소 기능이 포함되어 있으며, 이를 통해 소스 블록에서 몇 분 안에 화학 물질을 제거 할 수 있습니다. 이 로 말미암아 "블록 '은 오염 물질 로부터 자유 롭게 되고 전체 공정 이 깨끗 하고 오염 되지 않게 된다. 또한, 노벨 러스 이노바 (NOVELLUS Inova) 에는 다양한 기능과 기능이 제공되며, 특정 작업 및 애플리케이션에 시스템 구성을 사용자 정의하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 소프트웨어 (Software) 는 정기적으로 업데이트되어 모든 새로운 기능이 추가되고 가장 까다로운 어플리케이션에서 최적의 성능을 보장합니다. 요약하자면, 이노바 (Inova) 는 반도체 응용 분야에 최고의 유연성, 정확성 및 정밀도를 제공하는 혁신적인 플라즈마 강화 된 화학 증기 증착 원자로입니다. 고유한 설계는 다양한 가변 주파수 (variable frequency), 온도 램핑 (temperature ramping) 및 자체 클리닝 (self-cleaning) 기능을 제공하여 시스템을 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 이 원자로의 신뢰성 있고 효율적인 설계는 전체 프로세스가 깨끗하고 오염이 없도록 하며, 이는 다양한 반도체 (semiconductor) 용도에 이상적입니다.