판매용 중고 NOVELLUS Inova #9188675

노벨 루스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 박막 증착 및 열 처리 필름 등 다양한 고온 작동을 처리하도록 설계된 반응 챔버입니다. 여기에는 진공 무결성, 균일 한 온도 분포, 입자 청소 기능, 높은 처리량 등 효율적인 기판 처리에 필요한 모든 기능이 포함됩니다. Inova는 비활성 대기에서 최대 온도 등급 1,100 ° C의 최대 4 "웨이퍼 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 열폭발로 인한 오염의 위험없이 빠른 난방 속도를 달성 할 수있는 강력한 저진공 유도 (low-vacuum induction-heating) 시스템이 있습니다. 또한, 강력한 선형 가열 속도 제어 메커니즘은 챔버 전체에서 우수한 온도 균일성을 제공합니다. NOVELLUS Inova의 입자 청소 기능은 터보 펌프 (turbo pump) 와 기계식 회전 펌프 (mechanical rotary pump) 를 포함한 여러 진공 청소 구성 요소와 여러 필터의 조합으로 보장됩니다. 챔버의 효과적인 조합 센서는 입자 청소 능력을 더욱 향상시킵니다. Inova는 빠른 주기 시간과 적은 설치 공간으로 탁월한 처리량을 제공합니다. 고도로 정제된 운영 소프트웨어를 통해 사용자는 모든 작업 시퀀스 (operation sequence) 와 매개변수 (parameter) 를 프로그래밍할 수 있으며, 대용량 컴포넌트를 간단한 작업으로 제작할 수 있습니다. 노벨 러스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 손쉬운 작동과 안정적인 성능 외에도 안전 및 효율적인 에너지 관리를위한 이중 벽 진공실 건설, 가스 냉각 시스템, 고장난 보호 메커니즘, 열 보호 요소 등 다양한 안전 기능을 자랑합니다. 이노바 (Inova) 는 광범위한 응용 분야를 갖춘 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 반응 챔버입니다. 소재 처리 (materials processing) 에 귀중한 도구이며, 까다로운 열 공정에서 기판을 조작하기위한 강력한 솔루션을 제공합니다.