판매용 중고 NOVELLUS Inova #9188671

NOVELLUS Inova는 AR/VR/MR 디스플레이, 가전 제품, 광학 통신 및 의료 광학과 같은 정밀 광학 코팅 응용을 위해 설계된 모듈 식 원자층 증착 (ALD) 원자로입니다. Inova는 고급 광학 시스템을 생산하는 데 필요한 탁월한 정확도, 반복성 및 제어 (0.01 미크론 아래로) 를 제공합니다. NOVELLUS Inova는 2 개의 독립적 인 프로세스 영역으로 작동하며 우수한 기판 처리를 위해 가열 선형 이동 (LMT) 메커니즘을 사용합니다. 이 설계를 통해 기판을 중단 없이 두 프로세스 영역에서 동시에 처리할 수 있습니다. 전문 프로세스 엔지니어링 (Specialized Process Engineering) 은 에너지 절약 및 재료의 최적의 사용을 보장하는 한편, 우수한 전기 분리를 제공합니다. Inova 는 최적화된 운영 소프트웨어로 구동되어 편리하고 직관적인 사용자 환경을 제공합니다. NOVELLUS Inova에는 필수 프로세스 모니터링 및 정확한 제어를 위해 터치 스크린 디스플레이와 맞춤형 GUI가 포함되어 있습니다. 시스템 매개변수, 배치 프로세스 (각각 0.01 미크론), 레시피 및 설정은 개별 사용자 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. Inova는 AITAite System과 같은 광범위한 APT (Advanced Precise Technologies) 를 통합하여 신뢰할 수있는 결함이 없는 다층 박막 및 코팅, 고 및 초 박막 저전력 공동 증착 및 반응성 요소 증착 (ALD 포함) 을 지원합니다. 또한 압력, 온도, 가스 흐름, 플라즈마, 빛 등에 대한 조정 가능한 공정 제어 설정을 제공하여 프로세스 최적화를 지원합니다. NOVELLUS Inova는 오염 위험을 줄이고 최적의 코팅 정확성을 보장하기 위해 해석적으로 밀봉됩니다. 또한 강력한 산란 모듈 (또는 대상 조사 모듈) 이 포함되어 있어 더 넓은 범위의 evanescent 및 high-permeability 광 구성 요소에 고품질 코팅이 가능합니다. 이노바 (Inova) 는 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며 다양한 실험실 및 생산 환경에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 증착실 액세서리 (옵션) 에는 동봉 된 샘플 엘리베이터, 회전 식 보트 및 진공 공급 장치가 포함되며, 모두 실험실 설정에서 쉽게 설치, 구성 및 사용할 수 있습니다. 또한 NOVELLUS Inova는 강력한 엔지니어링 및 지원 도구 모음인 NOVELLUS Service Toolkit (NOVELLUS Service Toolkit) 을 지원하여 시스템을 효율적으로 모니터링, 디버그 및 유지 관리할 수 있습니다. 또한, 필요할 때 NOVELLUS 전문가는 원격 진단을 통해 프로세스를 분석하고 최적화 할 수 있습니다. 이노바 (Inova) 는 정밀 광학 필름 제작을 위한 고급적이고, 안전하며, 비용 효율적인 솔루션을 원하는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다.