판매용 중고 NOVELLUS Inova #9178318
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판매
ID: 9178318
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2008
PVD System, 8"
Sputter deposition
Cu Seed
Main system:
Mainframe
Transfer
Load
Aligner
Cool
Degas chamber
Loadlock
(2) LPT2000 SMIF Systems
Handler system:
3-Axis trust control ConMag II robot assy
With ceramic blade (Transfer robot)
AWC BROOKS Mag 7 robot assy
With ceramic end effector (FE Robot)
Process chambers:
Ta
Cu
DMC
Hardware:
Main power distribution
Transformer
AC Control / Generator rack
(4) 9600 Cryo compressors
Mydax chiller
Polycold
Affinity chiller
(4) Dry pumps
Missing parts:
DMC LF Generator
DMC Turbo pump
Cu Chamber water box
Cu Chamber SIOC
Ta Chamber SIOC
Degas EV block
Ta EV Block
PVD Chamber quartz lamp
Loader ion gauge
Aligner lamp
HF Match
Degas table
CIP & Upgrades:
Ta Chamber process kit: SST Process kit
Ta HCM Target: Dual coil Ta with short lip
Damaclean dome shield: Single piece
HCM Cu Target: 3/4" HCM Cu Thickwall target
ESC Chuck: Rev2
Degas stn leak chk port (Front end)
Degas flexline
PVD Chamber flexline (Ta/Cu)
PVD Chamber HCM (Ta/Cu): Metal strain relief
PVD Chamber RGA port
Loadlock ion gauge port extension
PVD Chamber condensation control (Ta/Cu)
Dual loadlocks:
Chord mapping
Cryo baffle plate
Cryo pumps: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
LL Short light curtain
PEC Cassette nests
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Wafer handler / Frontend CHM:
Robot arm: Ceramic
Cryo pumps: CTI CRYOGENIC 8" F & 4"
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Degas station:
Degas station: 4pt Mechanical clamp
AERA FC-7800CD MFC 4 argon: 1.0/20
Cool station:
Standard
AERA FC-7800CD MFC 3 Argon: 1.0/100
Stage O-ring groove size: 0.121-0.124"
Transfer module:
Cryo pump: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Robot: AWC BROOKS Mag 7
Robot end effector: Ceramic
Lid cover: Clear lid
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Damaclean module:
Cylinder source: Ceramic
Gas box: (3) Gases
RF p/s: ADVANCED ENERGY RF 10s & LF 10WC
Plasma shield: Stationary
Pump: Varian V 701 VT
Stage: Non-ESC
Shield kit: Standard DMC non ESC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS Inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
AERA F-7800CD MFC 4 H2: 1.0/50
AERA F-7800CDMFC 1 Ar: 1.0/50
Gate valve shield sssy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Ta(N) Chamber:
Cryo pump: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Ar MFC
N2 MFC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS Inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
Argon BSG manometer gauge: MKS Inst 750B11TCB2GA
AERA FC-7800CD MFC 3 N2: 1.0/200
AERA FC-7800CD MFC 1 Ar: 1.4/100
MKS UPC 1 Ar: 1.0/10
Shield kit:
Shield support ring, RF FF: Ceramic
RF Plug: Ceramic
Gate valve shield kit not installed
Arc sprayed SST:
Assy, anode, HCM
Shield adapter
Deposition shield
ESC Table shield
Weight clamp, RF
Bottom shield
Source:
DC p/s: CPI 36 KW
D-Coil
M-Coil
Source magnet: Array
Top magnet: Rotating
Target: Ta
ESC Power supply: TREK 684-I
Table:
Assy, table, HCM
POLYCOLD N2 Cooling lines: Vacuum-jacketed
MKS UPC
Stage: ESC With active cooling
Heat exchanger for chilled N2 exhaust
Z-Table
RF Ready
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Cu Chamber:
Cryo pump: CTI CRYOGENICS 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Ar MFC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
Argon BSG manometer gauge: MKS inst 750B11TCB2GA
MFC:
AERA FC-7800CD MFC 3 N2: 1.0/200
AERA FC-7800CD MFC 1 Ar: 1.4/100
MKS UPC 1 Ar: 1.0/10
Shield kit:
ESC Clamp: Grit blasted
Assy, anode, HCM: Grit blasted SST
Shield adapter: Grit blasted SST
Gate valve shield kit
Grit blasted, Non RF:
Deposition shield
ESC Table shield
Bottom shield
Source:
DC p/s: CPI 36 KW
D-Coil
M-Coil
Source magnet: Array
Top magnet: Rotating
Target: Cu
ESC Power supply: TREK 684-I
Table:
MYDAX Fluid cooling line: Vacuum-jacketed
MKS UPC
Stage: ESC With active cooling
Z-Table
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Auxiliary subfab equipment:
Cu Chamber chiller: MYDAX 1-VLH7-WB
Ta Chamber chiller: POLYCOLD 152-WC-CE/S2
System DI water chiller: Affinity E series EWA-15DK-GE06CBC0 chiller
Dry pumps: EBARA EV-S20N (High efficiency pump)
Main power distribution: Cutler hammer cabinet C2/Inova
ECR: C2/Inova ECR 208 VAC, (3) racks
2008 vintage.
NOVELLUS Inova는 NOVELLUS Systems Inc.에서 개발 한 최첨단 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 고도의 고급 챔버 (advanced chamber) 에는 반도체 제조 작업을위한 우수한 공정 솔루션을 제공하는 여러 오퍼링이 포함되어 있습니다. 이노바 (Inova) 는 오늘날의 고급 프로세스 노드 (process node) 및 디바이스 구조의 프런트엔드 (Front-End) 및 백엔드 (Back-End) 생산에 광범위한 프로세스 기능을 제공하는 확장 가능한 플랫폼입니다. NOVELLUS Inova에는 Express ™ 와 Prime의 두 가지 CVD 솔루션이 있습니다. Express (tm) 는 단일 웨이퍼, 저진공 CVD 솔루션으로 III-V 및 CMOS 재료 계층의 역처리와 같은 저온 프로세스에 적합하여 TCO (소유 비용) 를 향상시킵니다. 또한, 익스프레스 (Express) 는 섬세하고 얇은 산화물 및 질화물 층을 처리 할 수 있으며, 종종 고급 트랜지스터의 평면 화 및 국소화에 사용되므로 비용이 많이 드는 오염의 위험을 줄일 수 있습니다. 두 번째 오퍼링 인 Prime은 멀티 웨이퍼, 고 진공 CVD 시스템으로 finFET 및 FEOL 프로세스에 사용되는 초박형 필름에 이상적입니다. 프라임 (Prime) 의 고급 온도 조절 기술은 모든 로트에서 입증 된 반복성을 보장합니다. 입자 생성을 최소화하고 완벽한 필름 증착을 보장합니다. 첨단 CVD 프로세스 기능을 제공하는 것 외에도, 이노바 (Inova) 원자로는 업계 최고의 현장 측정 및 프로세스 제어 기능을 제공합니다. SEM-WDX (Scanning Electron Wavelength Dispersive X-ray) 및 광학 도량형은 사용자가 정의한 측정 매개변수를 사용하여 모든 중요한 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이를 통해 etch 또는 deposition 프로세스를 최대한으로 최적화할 수 있으며, 정밀한 프로세스 제어 정확성을 보장하여 사실상 CD의 (critical dimension) 오류를 없앨 수 있습니다. NOVELLUS Inova 원자로는 또한 정교한 자동화 및 원격 모니터링 기능을 제공하여 가동 시간 및 프로세스 제어를 극대화합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 자동화된 레시피 생성 및 구현을 위한 효율적인 플랫폼을 제공하여 운영 효율을 높입니다. 또한 고급 원격 메트리 (telemetry) 기능을 통해 원격 문제 해결 및 문제 해결을 통해 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 결론적으로, 이노바 (Inova) 는 오늘날의 나노 미터 규모의 장치 구조의 엄격한 프로세스 제어 요구 사항을 충족시키기 위해 설계된 시장을 선도하는 최첨단 원자로입니다. 다양한 기능을 통해 사용자는 최신 프로세스 기능과 고급 자동화 기능 (Automation Features) 을 액세스하여 프로세스 제어 및 가동 시간을 극대화할 수 있습니다. 고급 현장 (in-situ) 도량형 기능과 정교한 자동화 및 원격 모니터링 기능을 통해 최대한의 가동 시간 (up-time) 및 프로세스 제어 정확성을 보장합니다.
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