판매용 중고 NOVELLUS Inova #293742707

NOVELLUS Inova 원자로는 증착 및 에치 처리를 위해 설계된 고성능 장비입니다. 최신의 첨단 기술을 결합하여 유연하고 비용 효율적인 방식으로 프로세스 품질 (process quality) 과 처리량 (throughput) 을 향상시킵니다. 이노바 (Inova) 원자로는 대규모 생산의 요구를 충족시키기 위해 모듈성을 고려하여 설계되었습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 에 정확한 균일 한 가스 전달을 제공하며, 전체 공정 동안 압력과 온도의 정확한 제어 (control of pressure and temperature) 를 제공합니다. NOVELLUS Inova 원자로는 또한 확장 된 생산 시간 동안 프로세스 제어 및 안정성을 보장하기 위해 효율적인 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 이노바 (Inova) 원자로는 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 통해 제어되므로 쉽고 효율적인 작동이 가능합니다. 이 장치에는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 실시간으로 모니터링하는 고급 측정 기능이 포함되어 있으며, 전체 프로세스 결과를 추적하고 개선하는 데 사용할 수 있습니다. NOVELLUS Inova 원자로는 에칭, 증착, 청소 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 플라즈마 강화 CVD 및 원자층 증착 (ALD) 과 같은 CVD (physical and chemical vapor deposition) 를위한 유연한 도구가 장착되어 있습니다. 처리 할 수 있는 레이어 (layer) 와 재료 (material) 스택 수는 사용자의 상상력에 의해서만 제한됩니다. 이 도구는 또한 깨끗한 공기 챔버 (air chamber) 를 특징으로하며, 공정 가스 (process gase) 로 인한 교란을 제거하기 위해 공정 챔버 내부에서 지속적인 압력을 유지합니다. 통합 안전 자산 (Integrated Safety Asset) 과 같은 추가 기능은 프로세스 매개 변수가 허용 가능한 한계를 넘어서면 운영자에게 신속하게 경고합니다. Inova는 또한 강력하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 부식 방지 챔버를 특징으로하여 극한의 작동 조건에서도 최적의 성능을 보장합니다. 또한 고급 장애 감지/복구 시스템 (fault detection and recovery system) 을 장착하여 다운타임을 줄이고, 비용이 많이 드는 복구를 방지하며, 지속적인 워크플로우를 보장합니다. 결론적으로 NOVELLUS Inova 원자로는 유연성, 성능 및 신뢰성의 궁극적 인 조합을 제공합니다. 첨단 기능과 설계를 통해 비용을 절감하면서 프로세스 품질 (process quality) 을 높이고자 하는 고객에게 이상적인 솔루션이 됩니다.