판매용 중고 NOVELLUS Inova #100556

NOVELLUS Inova는 반도체 제조 산업에 사용되는 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 고성능 나노디바이스 (Nanodevice) 와 메모리 칩 (Memory Chip) 과 같은 어플리케이션을 위해 일관성 있고 균일한 두께로 우수한 초박형 재료를 생산할 수 있는 탁월한 기능이 특징입니다. 이 기계는 스퍼터링 (sputtering) 기능이 내장된 혁신적인 디자인으로, 증착 과정을 더욱 최적화하고 고급 반도체 장치에서 필요한 필름 두께, 레이어 균일성, 정밀도의 모든 수준 (variability) 을 제거합니다. Inova 원자로는 2 구역 설계를 사용하여 2 개의 공정 온도를 수용합니다. 첫 번째 영역은 CVD 프로세스에 도입되기 전에 기판을 예열하는 데 사용되며, 두 번째 영역은 주 CVD 처리 영역입니다. 오직 두 개의 난방 구역 (heating zone) 만을 활용하여 열 에너지를 절약하고 효율성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 기판 이 제 1 지대 에서 제 2 지대 로 옮겨지면서, 온도 변화 가 최소화 되어, 열 충격 을 피하고, 물질 표면 을 손상 시키는 데 도움 이 된다. 원자로는 또한 특허 된 ATCS (Active Temperature Control System) 를 특징으로하며, 전체 기판 표면에서 우수한 열 균일성을 제공합니다. 또한, ATCS는 산소, 증착 가스, 할로겐 가스 및 기타 선택된 가스를 포함하여 CVD 프로세스에 사용되는 다양한 가스에 대한 고급 실시간 모니터링 및 제어로 인해 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 기능을 통해 사용자는 즉석에서 프로세스 레시피를 손쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 프로세스 안정성 (process stability) 을 보장하고, 프로세스 도중 가스의 까다로운 수송을 최소화할 수 있습니다. 노벨 러스 이노바 (NOVELLUS Inova) 는 뛰어난 디자인 외에도 열 처리, 이온 에칭, 빠른 열 어닐링 등 다양한 포스트 프로세스 클리닝 도구를 갖추고 있습니다. 따라서 사용자는 전체 프로세스 (클리닝, 증착, 단일, 효율적인 작업) 를 신속하게 완료할 수 있습니다. 이는 추가 인건비 및 인건비 (인건비) 의 필요성을 줄이거나 제거하는 데 도움이 됩니다. 결론적으로, Inova는 반도체 가공 산업을 위해 특별히 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 2 구역 설계, 액티브 온도 조절 시스템 (Active Temperature Control System), 다양한 포스트 프로세스 클리닝 툴 덕분에 제조업체들은 매우 효율적인 프로세스를 구현할 수 있습니다. 따라서, 뛰어난 여과 및 공정 균일성 (process unifority) 을 갖춘 효율적이고 신뢰할 수있는 증착 도구를 찾는 제조업체에게는 이상적인 선택입니다.