판매용 중고 NOVELLUS Inova XT #9375328

NOVELLUS Inova XT Reactor는 반도체 마이크로 장치 제작을 가능하게하도록 설계된 차세대 석판화 도구입니다. Inova XT (Inova XT) 는 빠르고 효율적이며 안정적인 방법으로 고급 etch 프로세스를 수행할 수 있는 자동화된 컴퓨터 제어 장치입니다. 이 장비는 특정 디바이스/프로세스 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 시스템은 공급 모듈, 로드 모듈, RF 생성기 및 경화 오븐으로 구성됩니다. 공급 모듈에는 반응성 이온 에칭에 필요한 공정 가스, 산 및 청소 솔루션이 들어 있습니다. 로드 모듈은 자동으로 기판을 정전기 척 (electrostatic chuck) 에 로드하고 언로드하여 기판 형식을 빠르게 변경할 수 있습니다. RF 생성기는 전자 레인지 주파수를 사용하여 반응성 이온을 공급하여 다양한 공정 화학 물질을 에치 (etch) 하고 활성화시킵니다. 경화 오븐은 포토 esist를 치료하고 건조시키고 화학 물질을 가공하는 데 사용됩니다. NOVELLUS Inova XT는 etch 프로세스를 정확하게 제어하여 탁월한 프로세스 효율성을 제공합니다. 이 장치는 습식 (wet) 에서 건식 (dry etch) 공정에서 다양한 화학 물질과 반응을 지원하는 다양한 에치 공정을 제공합니다. 산소, 수소, 아르곤, ICP, ECR, CMP, 석영 에치 및 플루오린 에치와 같은 공정이 모두 지원됩니다. "머신 '은 개별 기판 과 공정 의 필요 를 충족 시키도록 조정 될 수 있다. 또한 Inova XT는 벨로우 격리, 챔버 팬 역학, 최소화 된 기판 간 하중, 가스 안전 보드 및 피드백 프로세스와 같은 안전 기능을 구축했습니다. 자동화된 모니터는 또한 프로세스 실행을 추적하고 자세한 프로세스 분석을 제공합니다. 높은 수율과 반복 가능성을 보장하기 위해 NOVELLUS Inova XT는 여러 가지 고급 기능과 기능을 사용합니다. 센서 인터페이스 모듈, 자동 보정, 마이크로 컨트롤러 및 통합 인터페이스가 통합되어 있습니다. 이 통합 공구 (integrated tool) 를 통해 원자로는 에칭 프로세스 (etching process) 의 변화에 신속하게 적응할 수 있으며, 다양한 기판에 걸쳐 프로세스 조건을 최적화하는 효과적인 공구를 제공합니다. 전반적으로, Inova XT Reactor는 정확하고 제어 가능한 에치 프로세스를 제공 할 수있는 매우 정교하고, 효율적이며, 안전한 에칭 원자로입니다. NOVELLUS Inova XT (Inova XT) 의 자동화 및 피드백 메커니즘은 빠르고 반복 가능한 에치 프로세스를 허용하며, 통합 자산은 높은 수익률과 반복성을 보장합니다.