판매용 중고 NOVELLUS Inova XT #9354273

NOVELLUS Inova XT는 동급 최고의 프로세스 제어 및 자동화를 제공하는 반도체 웨이퍼 처리 원자로입니다. 고급 플랫폼 (HPP) 의 필요성에 부합하도록 설계되었으며, 향상된 평면 처리, 프로세스 제어, 반복 기능을 통해 생산적인 웨이퍼 (Wafer) 처리를 제공할 수 있습니다. Inova XT는 빠른 처리를 위해 고주파 드라이브 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 기술은 더 높은 종횡비와 더 큰 스텝 하이트를 가능하게하며 다양한 광전자, 마이크로 일렉트로닉 및 MEMS 장치 제작을위한 복잡한 프로파일을 갖춘 미세 구조의 제작을 가능하게합니다. 원자로에는 고출력 RF 발전기, 온도 컨트롤러, 정확한 pH 표시기, 자동 트레이 및 병 충전 시스템, 로봇 암 등 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 원자로 안팎으로 웨이퍼를 원격으로 적재 및 언로드하는 것을 지원하며, 교차 오염을 최소화합니다. 노벨 루스 이노바 XT (NOVELLUS Inova XT) 는 청결성과 안전을 보장하고 유지하는 여러 모듈 및 챔버를 갖춘 산업 환경으로의 통합을 위해 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 은 프로세스의 일관되고, 안전하며, 반복 가능한 실행을 보장하는 반면, 사용자 친화적인 제어 시스템은 유지 보수 및 운영에 필요한 인력 시간을 최소화합니다. 원자로는 또한 산화물, 질화물, 폴리 실리콘 층의 증착 및 에칭에 매우 효율적이도록 설계되었다. 멀티 챔버, 웨이퍼 레벨 프로그래밍 가능한 환경을 통해 질화물, 산화물, 폴리 실리콘 및 멀티 레이어 조합으로 고품질 레이어를 증착하고 에칭할 수 있습니다. Inova XT 플랫폼은 저렴한 유지 보수, 프로세스 호환 및 반복 가능한 시스템을 제공하며, 효율적인 자동화를 위한 통합 로봇 암을 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 확장 가능하고 모듈식 방식으로 뛰어난 표면 평면 화, 높은 공정 반복성, 뛰어난 생산성을 생산하도록 설계되었습니다. 기존의 수작업 및 유지 관리를 제거하면서 뛰어난 Wafer 처리량을 제공합니다.