판매용 중고 NOVELLUS Inova XT #293818927

노벨 루스 이노바 XT (NOVELLUS Inova XT) 는 최적의 프로세스 반복성을 유지하면서 최고 수준의 에치 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 원자로입니다. 특히, 이노바 XT (Inova XT) 는 단일 웨이퍼 플라즈마 기반 원자로로, 뛰어난 정밀도로 재료를 증착 및 식각 할 수 있으며, 생산 주기 동안 장치 형상의 최고 수준의 정밀 제작을 제공합니다. NOVELLUS Inova XT는 고도의 통합 시스템을 사용하여 프로세스 변화를 줄입니다. 원자로에는 2 개의 독립 모듈 (플라즈마 소스 및 고해상도 공정 챔버) 이 포함됩니다. 플라즈마 소스 모듈은 중앙 장착 ECR (electron cyclotron resonance) 소스를 사용하여 플라즈마를 효율적으로 생성하여 재료를 배치하고 에치합니다. InnovusTM (InnovusTM) 필터는 소스의 주파수를 특정 범위로 설정하여 플라스마 생성 간섭과 불균형을 줄입니다. 이것은 생성 된 플라즈마가 보다 균일하고, 예측 가능하며, 신뢰할 수있는 성격이어서, 반복 가능한 제작 과정을 보장합니다. 또한 Inova XT에는 고급 공정 챔버 (advanced process chamber) 가 포함되어 있으며, 이는 정확한 RF 전달과 독립적 인 웨이퍼 위치 제어의 조합을 사용하여 재료를 정확하게 배치하고 에치합니다. 약실은 일련의 전극 또는 ECR 소스를 사용하여 RF 에너지를 웨이퍼에 정확하게 전달합니다. 이 정밀 RF 전달은 고급 프로세스 제어 (process control) 소프트웨어와 결합하여 에칭 및 증착 프로세스의 최고 수준의 정밀도를 보장합니다. 또한, 각 프로세스 챔버 (process chamber) 에는 개별적으로 제어되는 자체 웨이퍼 스테이지가 있으므로 각 개별 웨이퍼에 대해 최적화된 프로세스 작업 스케줄링이 가능합니다. NOVELLUS Inova XT는 또한 운영자 안전을 보장하기 위해 고급 안전 프로토콜을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 플라즈마 밀도, 공정 압력, 온도 및 기타 프로세스를 모니터링하는 센서와 배기 시스템 (xhaust system) 이 장착되어 있습니다. 이러한 매개변수 중 하나가 허용되는 최대 한계를 초과하는 경우, 시스템은 자동으로 종료되어 1 차 프로세스 제어 (First-Rate Process Control) 및 신뢰성을 지원합니다. 이노바 XT (Inova XT) 에는 정밀 프로세스 제어 소프트웨어, RF 전달 시스템, 고급 플라즈마 소스 필터, 향상된 열 전달 방사선, 고급 안전 시스템 등 다양한 업그레이드 옵션이 제공됩니다. NOVELLUS Inova XT는 까다로운 소재 및 고정밀 요구 사항을 충족하는 제작자에게 이상적인 솔루션입니다.