판매용 중고 NOVELLUS Inova NExT #9281285

NOVELLUS Inova NExT는 고급 재료 및 공정으로 고밀도 구조를 생산할 수 있도록 특별히 설계된 CVD (multi-chamber chemical vapor deposition) 원자로입니다. 이 고급 장비는 차세대 반도체 칩 및 고성능 전자 어플리케이션을 위한 탁월한 생산 용량을 제공합니다. Inova NExT CVD 원자로는 여러 개의 독립적으로 제어 된 챔버로 구성되며 모듈 식 구조를 특징으로합니다. 설계를 통해 여러 CVD 프로세스를 순서대로 또는 동시에 실행할 수 있습니다. 이를 통해 R&D 애플리케이션의 프로세스 유연성을 극대화하고 효율성을 극대화할 수 있으며, 생산량을 극대화할 수 있는 고급 디바이스 (device structure) 를 구축할 수 있습니다. NOVELLUS Inova NExT CVD 원자로는 고급, 침수 냉각, 초박형 웨이퍼 캐리어를 사용하여 처리 중 기질에 대한 열 왜곡을 최소화합니다. 고급 웨이퍼 캐리어 설계에는 기판의 스윙 아웃 언로드가 통합되어 있습니다. 또한, 고급 설계를 통해 제조업체는 각 챔버에 정확한 온도 조절 (temperate control) 기능을 만들 수 있으며, 프로세스 정밀도 및 제어성을 높일 수 있습니다. Inova NExT CVD 원자로에는 고성능 수평 및 수직 슬롯이 장착되어 기판 양쪽에 재료 증착이 가능합니다. 이를 통해 기판 전체에 걸쳐 재료 균일성이 증가하여 결함 밀도 (densities) 와 고품질 장치 (device) 및 구조가 직접 낮아집니다. 또한, 수직의 방향은 딥 트렌치 응용 프로그램 (deep-trench application) 의 격차 충전 (gap filling) 을 포함하여 고급 재료 증착에 대한 이점을 제공합니다. 정교한 제어 시스템 및 초반응 센서가 장착 된 NOVELLUS Inova NExT CVD 원자로는 최고 수준의 공정 성능을 제공합니다. 정교한 제어 장치는 각 챔버 내에서 흐름 제어 (flow control) 와 온도 설정 (temperature setting) 의 고유한 정확성을 제공하여 처리량 및 성능 수준을 높입니다. Inova NExT CVD 원자로는 반도체 개발 및 생산의 최신 발전을 제공합니다. 이 고급 머신은 고성능 반도체 어플리케이션을 위한 최고의 수준의 반복성 정확성, 제어성, 처리량, 비용 효율성을 제공합니다. 또한, 이 툴은 Cleanroom 환경에서 완벽한 운영/안전 규정 준수를 통해 탁월한 환경 성능을 제공합니다.