판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9377870

NOVELLUS CONCEPT One Reactor는 집적 회로 제작을위한 박막 전자 증착을위한 혁신적인 도구입니다. 회전, 열 및 화학 공정의 조합을 사용하여 박막 (thin film) 을 높은 속도로 정확하게 퇴적시켜 생산성 향상, 균일성 향상, 필름 특성 향상 등을 제공합니다. 원자로 (reactor) 는 반도체 제작 및 화학 증발에 사용되는 것을 포함하여 다양한 재료에 박막 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE Reactor의 회전 디스크에는 직경이 최대 6 인치 인 원통형, 수평 지향 센터가 있습니다. 사파이어 디스크는 회전 센터에 장착되어 정밀한 박막 증착이 가능합니다. 원자로에는 열원 (저항성 또는 유도 시스템) 이 포함되어 있으며, 전체 열 강착 범위에서 정확한 온도를 유지합니다. 열 "시스템 '은 건조 하거나 습기 가 있을 수 있으며, 정밀 한 난방 혹은 냉방 으로 조정 할 수 있다. 또한, 2 차 열원을 사용하여 더 높은 균일성과 더 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 원자로 에는 또한 화학원 이 포함 되는데, 이것 은 별도 의 화학원 일 수 도 있고, 열원 과 화학원 을 모두 이용 하는 "콤보 '원 일 수 도 있다. 화학원 에는 화학 물질 전달 장치 (chemical delivery system) 가 포함 되어 있어서, 화학 물질 의 존재 를 정확 하게 제어 하고, 화학 물질 을 기질 의 모든 부면 에 전달 할 수 있게 해 준다. 또한 CONCEPT One Reactor는 박막 증착을 향상시키는 여러 기능을 제공합니다. 기판 과 원하는 "필름 '에 따라, 원자로 는 화학적· 열적 증착 을 위해 혹은 그 두 가지 를 조합 하도록 구성 될 수 있다. 또한, 원자로는 정확한 증착 결과를 보장하기 위해 자동화되고 정확한 교정 및 진단을 제공합니다. CONCEPT ONE Reactor는 박막 재료의 현대적이고 고속 증착을위한 훌륭한 도구입니다. 그것 은 정확 한 온도 와 화학적 조절 을 제공 해 주며, 광범위 한 "기판 '들 이 균일성 을 향상 시키고 생산성 을 높여 가공 할 수 있게 해 준다.