판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9299444

NOVELLUS CONCEPT One은 고급 반도체 제조를 위한 고급 프로세스 기능을 제공하기 위해 설계된 차세대 고성능 원자로입니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로는 낮은 열 예산, 낮은 입자 생성 및 균일성으로 높은 공정 수율 및 최적의 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. CONCEPT One 원자로는 MEMS (Micro-Electro Mechanical Structure) 기술의 최신 발전을 사용하여 기존 원자로의 절반 크기 인 중형 선박을 사용하여 전례없는 수준의 처리량과 정밀도를 제공합니다. CONCEPT ONE 원자로에는 고급 응용 프로그램을위한 통합 진공 소스 (integrated vacuum source) 및 2 차 처리 챔버 (secondary processing chamber) 가 장착되어 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 소형 배치와 대형 웨이퍼를 처리하고, 전자빔 증발 (electron-beam evaporation), 화학 증발 (chemical-vapor deposition), 스퍼터 증착 (sputter deposition) 과 같은 다양한 증착 기술을 제공 할 수 있습니다. 고정밀 박막 코팅에 대한 수요를 충족시키기 위해 NOVELLUS CONCEPT One 원자로에는 가장 높은 종횡비 증착을 가능하게하는 자체 포함, 다중 영역 공정 모듈이 있습니다. 이 제품은 나노미터 규모 (nanometer-scale) 의 정확도로 박막을 증착하고 에칭할 수 있으며, 특정 프로세스 요구 사항을 충족하도록 가스와 전력 흐름 시스템을 쉽게 구성 할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로는 공정 측정에서 뛰어난 균일성과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 측정 기능에는 고급 광학 기반 모니터링 장비를 사용하여 최대 20 나노미터 (20 나노미터) 의 정확도를 제공합니다. 원자로는 또한 고급 광학 도량형 시스템과 통합 FTIR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy) 장치를 갖추고 있으며, 프로세스 제어 및 진단에 사용할 수있는 완벽한 분석 기능을 제공합니다. 콘셉트 원 (CONCEPT One) 원자로에는 통합 환경 관리 머신이 장착되어 있어 다양한 환경에서 안전하고 효율적인 작동이 가능합니다. 원자로의 저열 (low-heat) 및 저전력 (low-power) 설계는 특정 환경 요구 사항을 충족하도록 구성될 수 있으며, 통합 안전 (integrated safety) 기능은 프로세스 안전에 최적화된 도구를 제공합니다. 콘셉트 원 (CONCEPT ONE) 원자로는 반도체 제작 시장에 전례없는 공정 능력을 제공할 수 있는 첨단 고성능 원자로다. 통합 시스템, 고급 설계 기능 (Advanced Design Features), 탁월한 분석 기능을 통해 최적의 생산성과 생산성을 실현할 수 있는 이상적인 툴입니다. 최첨단 기술로 NOVELLUS CONCEPT One 원자로는 업계에 혁명을 일으킬 예정입니다.