판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9270391

NOVELLUS Concepts One (NC1) 장비는 NOVELLUS Systems Inc.에서 제작 한 고성능 멀티 챔버 반도체 공정 원자로입니다. 그것은 epitaxial-oxidation 원자로의 Concept 시리즈의 일부입니다. 이 원자로는 epitaxial deposition, oxidation 및 photoresist stripping을 포함한 다양한 공정 기능을 제공합니다. NC1은 균일성과 반복성이 높은 반도체 기판을 처리하도록 설계되었습니다. NC1 시스템은 하나의 트랙에 위치한 2 개의 반응 챔버로 나란히 구성된 고급 챔버 (advanced chamber) 아키텍처를 갖추고 있습니다. 2 개의 반응 챔버는 공통 가스 매니 폴드와 외부 노출 된 이온 소스를 통해 연결된다. 이러한 고유한 배치를 통해 여러 프로세스 단계에서 높은 수준의 제어 (control) 및 균일성 (unifority) 을 얻을 수 있습니다. 원자로 는 두께 가 최대 2 "밀리미터 '에 이르는 매우 균일 한 강착 층 을 생산 할 수 있으며, 매우 훌륭 한 단계 범위 를 갖추고 있다. NC1 장치는 APC (Advanced Process Control) 소프트웨어 패키지라는 특수 고성능 소프트웨어 시스템을 사용합니다. APC 도구는 챔버 압력, 온도, 증착율, 가스 흐름 등의 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이를 통해 원자로 (reactor) 가 광범위한 응용 분야에 최적화됩니다. NC1 자산은 광범위한 가스 화학 물질 및 압력으로 작동하도록 설계되었습니다. 이를 통해 고급 실리콘, 게르마늄, 질화물 등 코팅 공정에서 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 또한, 특수 유전체 및 산화물 층을 사용할 수 있으므로 프로세스 유연성이 향상됩니다. 원자로는 최대 4 만 분의 1 옹스트롬 (4 x 10-10) 의 뛰어난 균일 성과 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 이는 APC 소프트웨어 패키지의 유연성과 결합하여 NC1 모델을 시장에서 가장 발전된 증착 및 산화 시스템 중 하나로 만듭니다. NC1 장비는 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 과 비활성 가스 환경 (Inert Gas Environment) 으로 구성되어 운영 안전성을 높이고 시스템의 수명을 보장합니다. 이 장치는 모든 프로세스 (process) 또는 안전 이상 (safety anomalies) 을 운영자에게 알리는 수많은 경보 및 안전 연결 (safety interlock) 에 의해 추가로 보호됩니다. NC1 기계는 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 증착 및 산화 도구입니다. 탁월한 프로세스 제어, 반복 가능성, 정확성을 제공하며, 광범위한 고성능 반도체 제작 애플리케이션에 적합합니다.