판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9266473

NOVELLUS CONCEPT One은 기판 재료에 박막 층을 형성하기 위해 화학 증기 증착 (CVD) 에 사용되는 증착 원자로의 한 유형입니다. 고급 (Advanced) 기술로 설계되어 넓은 영역에 대한 정확한 레이어 적합성과 균일성을 제공합니다. 원자로 사용은 고 에너지 전자 버스트, 저에너지 광자, 정밀한 온도 및 압력 제어의 조합으로 CVD 공정에서 다른 화학 물질의 고체 및 액체 위상의 방출 및 이동을 제어합니다. 원자로는 미세 조정 된 혼합 챔버 (mixing chamber) 를 사용하여 정확한 온도 및 압력 제어를 가능하게한다. 믹싱 챔버에는 정확한 가스 유입 장비, 진공 펌프 및 온도/압력 센서/컨트롤로 둘러싸인 원통형 진공 용기가 포함됩니다. 이를 통해 반응물 가스 혼합물을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로 기저 부근에 위치한 가스 입구 시스템 (gas inlet system) 은 혼합 챔버에 가스를 정밀 전달 할 수있다. 또한 NOVELLUS CONCEPT ONE은 여러 가지 고급 구성 요소를 사용하여 빠른 에너지 버스트를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 여기에는 전자 빔 건 (electron beam gun) 이 포함되며, 이는 반응물 분자가 챔버에 들어가기 전에 분해되는 고 에너지 전자 버스트를 생성합니다. 또한 발광 다이오드 (LED) 장치를 포함하는데, 여기에는 기질에 손상을 입히지 않고 반응물 분자의 반응을 촉진시키는 저에너지 광자가 생성됩니다. 작동시, CONCEPT One은 먼저 필요한 반응물 가스 및 기판으로 준비함으로써 시작됩니다. 그런 다음, 전자 빔 건 (electron beam gun) 은 혼합실로 들어가기 전에 반응물 분자를 분해하는 집중된 빔을 생성합니다. LED 기계는 반응물 분자의 반응을 빠르게 촉진하는 저에너지 광자를 생성합니다. 마지막으로, 혼합 챔버의 정확한 온도 및 압력 제어는 기질 전체에 걸쳐 반응물 분자의 균일 한 분포를 가능하게한다. CONCEPT ONE 강착 원자로는 다른 CVD 원자로에 비해 수많은 장점이 있습니다. 정확한 온도 조절은 반응물 가스 혼합물을 희생시키지 않고 넓은 지역에 대한 균일 한 층 적합성 및 균일성을 보장합니다. 전자 빔 건 (beam gun) 과 LED 도구 (LED tool) 는 시간 낭비를 크게 줄여 기질 물질의 화학적 특성을 손상시키지 않고 빠르고 효율적인 증착을 가능하게한다. 마지막으로, 가스 입구 자산은 가스를 정확하게 제어하여 밀도, 심지어 층을 보장합니다.