판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9262615

NOVELLUS CONCEPT One은 반도체 장치의 균일하고 반복 가능한 처리를 위해 설계된 CVD (화학 증기 증착) 원자로입니다. 이 기계는 2004 년에 처음 선보였으며, 반도체 및 관련 산업에서 인기있는 선택이되었습니다. 뛰어난 프로세스 반복성과 낮은 운영 비용이 포함됩니다. 각 후속 버전에서 성능이 향상되었으며, 현재 설계에서는 처리량 및 프로세스 제어가 향상되었습니다 (영문). NOVELLUS CONCEPT ONE의 핵심은 공정 챔버입니다. 이것은 여러 프로세스 웨이퍼를 배치 할 수있는 오목한 홈이있는 스테인리스 스틸 라인 챔버 (stainless steel linined chamber) 입니다. 약실은 열적으로 제어되며 조절 가능한 압력 범위를 갖습니다. 또 신속 한 대피 "시스템 '이 갖추어져 있어서 즉시 대피 할 수 있으며, 이것 은 증착 과정 을 시작 할 필요 가 있다. CONCEPT One은 또한 플라즈마 소스를 특징으로하며, 이는 화학 증기 증착 과정을 시작하는 데 사용됩니다. 이 원천 은 "플라즈마 '라고도 하는 단원자" 가스' 를 생산 하는데, 이것 은 가열 되어 공정 "가스 '를 통과 한다. 이 "플라즈마 '는 원하는 재료 와 상호 작용 하여 재료 를" 웨이퍼' 에 전달 한다. 이 과정은 매우 균일하며, 각 레이어는 두께가 동일합니다. CONCEPT ONE의 다른 기능으로는 프로세스 모니터링 및 제어, 통합 데이터 획득 시스템 등이 있습니다. 이 데이터 수집 시스템 (Data Acquisition System) 을 사용하면 배치 프로세스를 실시간으로 관찰할 수 있으므로 엔지니어가 전체 프로세스를 처음부터 끝까지 모니터링할 수 있습니다. 간단히 말해서, NOVELLUS CONCEPT One은 뛰어난 반복성과 프로세스 제어를 제공하는 신뢰할 수있는 저렴한 CVD 도구입니다. 많은 엔지니어 (Engineer) 와 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 가 유연성과 탁월한 결과를 위해 추천하는 매우 존경받는 장비입니다. 이는 반도체 업계에서 반복되는 인기를 보장했다.