판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9243883

NOVELLUS CONCEPT One은 혁신적인 기술과 디자인으로 구동되는 고성능 단일 웨이퍼 원자로입니다. 원자로는 뛰어난 공정 유연성, 빠른 주기 시간, 비싼 Fab 공간의 활용도 향상을 지원합니다. 원자로는 1 피스 고정 챔버와 최대 10 인치의 6 축 모션 플랫폼으로 구성되어 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 입자 오염의 위험이 없도록 제작되고 설계되었으며 정전기 접지 된 PEEK 벽으로 제작되었습니다. 원자로는 통합 된 활성 환기가있는 6.5 "펌핑 및 분리 된 펌핑 존 (pumping zone) 의 영역을 특징으로합니다. 탁월한 프로세스 유연성을 제공하기 위해 NOVELLUS CONCEPT ONE에는 고속 도구 변경 기능이 장착되어 있습니다. 단일 웨이퍼 및 이중 웨이퍼 프로세싱과 같은 다양한 구성으로 교환 할 수 있습니다. 온도 균일성은 수냉판에 의해 유지되며, 또한 낮은 열 질량 환경을 보장합니다. CONCEPT One은 최대 1000 개의 레시피를 실행할 수 있으며, 모두 가변, 속도 및 정확도로 실행할 수 있습니다. CONCEPT ONE은 다중 축 동작 플랫폼으로 구동되며, 견고하고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 컨트롤을 갖추고 있습니다. 강력한 모션 제품군에는 10축 고속 모션 모델과 저속 및 고성능 관성 축 구성이 포함됩니다. 각 축은 최대 200mm/s 선형 속도와 150 ° C/초 회전을 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 장비는 여러 작업을 동시에 수행할 수 있으며, 주기 (cycle) 를 크게 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, 고가의 FAB 공간 사용을 극대화하기 위해 NOVELLUS CONCEPT One (NOVELLUS CONCEPT One) 은 한 곳에 포함 및 연결된 모든 구성 요소가 통합 된 밀폐 시스템으로 설계되었습니다. 제어 장치는 최고 수준의 정밀도, 정확도, 자동화를 보장하도록 설계되었습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE은 고성능, 유연성 및 안정적인 프로세스에 이상적인 기계입니다. 이 제품은 뛰어난 프로세스 유연성, 빠른 주기 속도, 고가의 Fab 공간 활용도 향상, 온도 균일성, 뛰어난 성능을 제공합니다.