판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9226321

NOVELLUS CONCEPT One 원자로는 반도체 제작 장비의 혁신적인 새로운 디자인입니다. 단일 소형 장비에 습식 에치 챔버, 증착실 및 기판 히터의 성능을 결합한 혁신적인 1 단계 CVD (chemical vapor deposition) 도구입니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로는 뛰어난 공정 온도 균일성과 높은 정도의 공정 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 콘셉트 원 (CONCEPT One) 원자로는 모터 (motor) 로 구동되는 회전식 챔버 플랫폼을 사용하여 증착 소스 재료에서 증류 된 반사 액체로 기판을 균일하게 코팅합니다. 그런 다음, 기질이 증착실에 들어가기 전에 고효율 가스 연소 흑연 히터 (graphite heater) 를 사용하여 따뜻한 기질을 빠르고 정확하게 가열합니다. 이 약실 내부 에서, 그 물질 은 기판 에 강착 되며, 온도 와 "가스 '의 흐름 은 정확 하게 조절 되고 모니터링 된다. 고속 인터 록 (High Speed Interlock) 및 플라즈마 투여 (Plasma Dosing) 도 회전 주기에 통합되어 프로세스를 최적화합니다. CONCEPT ONE 원자로는 또한 프로세스 균일성과 재생성을 극대화하도록 최적화 된 고급 X-Y 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치를 사용하면 챔버 플랫폼 (chamber platform) 을 어떤 방향으로든 스캔하도록 정확하게 프로그래밍할 수 있으며, 연산자는 프로세스를 빠르고 편리하게 제어할 수 있습니다. 이 "플랫폼 '은 또한 증착 중 에 기판 을 추적 하고 온도 를 가공 하는 데 사용 될 수 있으며, 그 과정 을 즉석 에서 모니터링 하고 조정 할 수 있다. NOVELLUS CONCEPT ONE (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로는 뛰어난 온도 균일성과 프로세스 안정성을 제공하지만, 운영자는 더 큰 유연성과 제어를 가능하게합니다. CVD, ALD, PECVD 등 대부분의 증착 과정을 처리 할 수 있으므로 반도체 제작에 이상적입니다. 이 설계는 또한 원자로 청소 및 유지보수 (maintenance) 를 빠르고 효과적으로 수행할 수 있게 해 주며, 다운타임은 최소화되고 기계 수명은 연장됩니다. 이 신뢰할 수 있고 성능이 좋은 디자인은 반도체 산업의 많은 사람들이 신뢰하며 NOVELLUS Systems에서 구할 수 있습니다.