판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9226320

노벨 루스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 은 금속 및 유전체와 같은 기질의 침착 및 에칭에 사용되는 원자로입니다. HFCP (High-Frequency Capacitively Coupled Plasmas) 및 모듈 식 웨이퍼 레벨 프로세스 모듈과 같은 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 원자로는 높은 처리량 생산성, 낮은 소유 비용 (TCO), 작은 설치 공간을 결합하여 연구/생산 응용프로그램을 위한 완벽한 선택입니다. 원자로는 높은 처리량, 증착 환경 (deposition environment) 의 정확한 제어, 정확한 프로세스 레시피의 뛰어난 조합을 제공하도록 설계되었습니다. HFCP 소스는 이온 밀도와 에치 (etch) 성분의 깊이를 증가시켜 프로세스 정밀도와 속도를 향상시킵니다. HFCP 소스는 또한 특정 요구에 맞게 매개 변수를 조정하는 기능을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT ONE Reactors (NOVELLUS CONCEPT ONE Reactors) 는 정밀한 전력 제어, 반응물 공급의 정밀한 제어 및 증착 환경의 정밀한 제어를 통해 종횡비가 높은 박막 재료를 일관되고 균일하게 증착 할 수 있습니다. 원자로에는 모듈 식 웨이퍼 레벨 공정 모듈도 장착되어 있습니다. 이를 통해 도량형, 이미징, 스프레이 코팅, 증착과 같은 웨이퍼 레벨 작업에 대한 정확한 제어 및 유연성이 가능합니다. 원자로는 또한 Process Veinless Systems, 진공 전송 모듈, 가스 전달 시스템 및 가변 각도 코일 소스와 같은 여러 액세서리와 호환됩니다. 원자로의 중요한 특징은 빠른 공구 설정 (fast tool setup) 과 짧은 주기 (short-cycle) 시간으로 생산성을 극대화하는 것입니다. 또한, 이 제품은 작동이 쉽고, 새로운 프로세스를 개발할 때 뛰어난 유연성을 제공합니다. 콘셉트 원 (CONCEPT One) 원자로는 정밀도, 성능, 비용 효율성의 탁월한 조합을 제공하여 다양한 연구 및 생산 응용에 이상적입니다. 원자로 (Reactor) 는 첨단 기능과 유연성을 통해 안정적이고, 재현 가능하며, 비용 효율적인 처리 및 증착 (deposition) 을 생성하고 구현하는 데 이상적인 도구입니다.