판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9225569

NOVELLUS CONCEPT One은 고급 반도체 증착 응용을 위해 특별히 설계된 혁신적인 원자로입니다. 이 장치는 고성능 플라즈마 소스 (Plasma Source) 와 특수 원격 챔버 (Remote Chamber) 를 결합하여 반도체 프로세싱을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 이 고급 장비는 여러 가지 중요한 이점을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT ONE은 독특한 플라즈마 소스를 사용하여 필름 품질과 반복 성을 크게 향상시킵니다. Plasma Source (Plasma Source) 를 사용하면 프로세스를 빠르고 정확하게 사용자 정의하여 프로세스 결과를 최적화할 수 있습니다. 원격 챔버 (Remote Chamber) 는 가스를 보다 효율적으로 사용하고 증착률을 높여 처리 능력을 향상시킵니다. 고급 기판 난방 및 냉각 기능을 갖춘 CONCEPT One은 섭씨 최대 800 도의 온도에 도달할 수 있으며, 빠르고 효율적인 열 제어 기능을 제공합니다. 원자로는 시동 (start-up) 과 완전 스로틀 (full throttle) 사이에 단 몇 분 동안 초고속 턴온 시간을 제공합니다. 또한, 시스템의 거의 무제한 확장성을 통해 각각 8 개의 소스로 최대 8 개의 챔버를 허용하고 손쉽게 동기화할 수 있습니다. CONCEPT ONE은 또한 통합 PC 및 PLC 기반 전기 및 제어 장치를 갖추고 있으므로 다양한 프로세스를 완전히 자동화 할 수 있습니다. 이러한 고유한 기능 조합을 통해 프로세스 엔지니어는 증착 (deposition) 과 에치 (etch) 레시피 사이를 쉽게 전환 할 수 있습니다. 결과적으로, 이 정교한 장비는 처리량, 수율 및 가동 시간을 증가시킵니다. 노벨 루스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 은 완전 자동화 된 원자로 기계이며, 저 및 초 저-k 유전체, 텅스텐, 구리, 고귀한 금속 및 갈륨 비소를 포함한 광범위한 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 기판을 수백 미크론 내에 정확하게 배치 할 수 있으며, 몇 가지 내장 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT ONE은 고급 반도체 증착 응용 분야에 적합한 선택입니다. 이 장치는 놀라운 자동화 기능과 성능 향상을 통해 반도체 기판의 처리 (processing) 를 대폭 간소화하고 최적화할 수 있습니다. 고정밀 증착 프로파일과 빠른 턴온 (turn-on) 시간은 오늘날의 복잡한 제조 환경에 이상적인 선택입니다.