판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9194261
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노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 은 반도체 웨이퍼의 제조, 증착 및 에칭을위한 가장 최첨단 다용도 도구로 널리 알려진 혁신적인 새로운 유형의 정밀 처리 원자로입니다. 이 원자로는 오늘날 가장 발전된 반도체 제조 공정에서 널리 활용되며, 다양한 금속, 산화물, 질화물 및 기타 물질을 현미경 반도체 웨이퍼에 증착 할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE은 다중 프로세스, 다중 기판 증착 장비로 구동되어 동일한 도구에서 여러 프로세스 기능을 용이하게합니다. 이 정밀 증착 프로세스는 일관된 wafer-to-wafer 및 set-to-set 프로세스 데이터를 허용하는 in-situ, SpectraLIVE ™ 레이저 기반 검출 시스템을 사용합니다. 이 장치는 또한 증착 공정에서 높은 정밀도를 허용하며, 유기농 (organics) 과 무기 (organics) 를 통해 엄격한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 컨셉트 원 (CONCEPT ONE) 의 중심에는 증착 과정에서 극도의 정밀도를 제공하도록 설계된 새로운 마그네트론 스퍼터 소스가 있습니다. 이 소스는 구리, 티타늄/텅스텐, 니켈-인과 같은 물질의 증착을 제공하기 위해 튜닝 될 수있다. 또한, 이 소스는 또한 질화 알루미늄 및 산화 알루미늄과 같은 질화물-산화물 물질을 정확하게 증착 할 수있다. 마그네트론 소스 (magnetron source) 는 기판에 재료 패턴을 초미세 에칭하여 서브 미크론 구조를 생성 할 수있다. 이 고급 머신은 또한 널리 사용되는 RTP (Rapid Thermal Processing) 도구를 사용하여 고급 플라즈마 제어를 사용합니다. 이 자산은 기존 방법에 비해 프로세스 시간을 거의 75% 줄일 수 있습니다. RTP는 기판 전체에 균일 한 가열과 웨이퍼의 빠른 어닐링을 가능하게합니다. 이로 인해 단계 범위가 향상되고 처리 속도가 빨라집니다. 컨셉 원 (CONCEPT ONE) 원자로는 고급 반도체 제조 공정을 위한 강력한 도구이며, 저밀도 및 고밀도 마이크로 전자 장치의 제작에 적합합니다. 마그네트론 스퍼터 소스 (magnetron sputter source) 와 RTP 모델의 조합은 재료의 매우 정확한 증착을 보장하여 성능 및 신뢰성을 향상시킵니다. 선진적인 반도체 제조공정을 위한 완벽한 공구다. 산업을 한 단계 끌어올리는 데 도움이 될 것이다. & # 160; & # 160; & # 160;
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