판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9193243

NOVELLUS CONCEPT One은 반도체 산업을위한 고정밀 처리를 제공하는 고급 플라즈마 기반 원자로입니다. 원자로는 자기 제한 아르곤 플라즈마 (argon plasma) 와 자유 전자 레이저 광학 (free-electron laser optics) 의 독특한 조합을 사용하여 반도체 장치를 만드는 데 매우 효율적이고 비용 효율적인 제조 공정을 만듭니다. 이 최첨단 원자로는 반도체 제조를위한 첨단 솔루션 공급 업체 인 NOVELLUS Systems, Inc.에 의해 개발되었습니다. PRC (Plasma Reaction Chamber) 는 NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로의 핵심입니다. 이 챔버는 광 창 (optical window), 전원 창 (power window) 및 챔버 벽 (chamber wall) 을 포함한 여러 컴포넌트로 구성됩니다. PRC는 아르곤 플라즈마 (argon plasma) 와 자유 전자 레이저 광학 (free electron laser optics) 의 독특한 조합을 사용하여 정밀 제어를 제공하고 처리 중 반복 가능한 정확성을 보장합니다. "아르곤 플라즈마 '는 약실 외부 의" 솔레노이드' 에 의해 생성 되는 자기장 에 의하여 제자리 에 있게 된다. "플라즈마 '가" 에너지' 를 공급 할 때, 그것 은 반응 하는 종 이나 중성 의 "가스 '모드 스퍼터링' 원 으로서 작용 하여 더 큰 조절 과 프로세스 유연성 을 갖게 한다. optics 패키지는 프로세스 선택도 (off-axis) 및 중심 축 (center-axis) 을 증가시키기 위해 회절 방식으로 현지화된 에너지 스펙트럼 모양을 생성합니다. CONCEPT One은 또한 최적의 플라즈마 제어를 제공하기 위해 고급 고출력 RF 드라이브 장비를 갖추고 있습니다. 이 드라이브 시스템은 플라즈마 주파수와 정확히 일치하며, 호칭을 피하고 원하는 플라즈마 모양을 만들기 위해 대규모 펄스 (pulsed) 자기장을 생성합니다. 이 원자로에 등장한 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 는 정밀 제어를 통해 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 이 기계는 다양한 배경 (background) 이나 컴포넌트 파울링 (fouling) 과 같은 패라메트릭 변화를 보완하도록 설계되었습니다. CONCEPT ONE은 반도체 처리를 위해 업계 표준 재료 및 구성과 호환됩니다. RF 드라이브 시스템, 광학, 플라즈마 생산의 독특한 조합으로, 이 원자로는 다양한 기판 및 반도체 재료를 매우 정확하고 정밀하게 처리 할 수 있습니다. 노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 의 디자인은 최고 품질의 반도체 장치의 고수율 생산에 최적화되어 제조업체의 사이클 시간 (cycle time) 과 비용을 줄였습니다.