판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9183491
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NOVELLUS CONCEPT One은 반도체 제조를위한 고급 단일 웨이퍼 원자로 시스템입니다. TCO (총소유비용) 가 낮은 최신 박막 증착 기술과 프로세스 역량 및 신뢰성을 높이기 위해 설계된 혁신적인 새로운 기능을 결합한 것입니다 (영문). NOVELLUS CONCEPT ONE에는 신규 또는 기존 TFDP (Thin Film Deposition Processes) 로 구성된 여러 증착로가 있습니다. 이 원자로는 초고압 유전체, 산화물, 질화물, 금속 산화물 등 기술적으로 가장 까다로운 재료의 박막을 증착 할 수 있습니다. 전반적으로 CONCEPT One은 박막 증착 기술에 대한 독특하고 비용 효율적인 접근 방식을 제공합니다. 최첨단 설계는 다양한 프로세스 기술에 액세스 할 수있는 멀티 리액터 (Multi-Reactor) 인라인 형성 솔루션을 제공합니다. 탁월한 예측 가능성, 반복 가능성, 디바이스 수명을 실현하는 한편, 프로세스 비용을 크게 절감합니다. CONCEPT ONE은 전통적인 단일 웨이퍼 비 인라인 증착 시스템보다 몇 가지 뛰어난 장점이 있습니다. 우선, 자동화된 통합 플랫폼 (Automated Integrated Platform) 은 수작업 없이 광범위한 프로세스 기술의 성능과 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 노벨 러스 컨셉트 원 (NOVELLUS CONCEPT One) 은 증착 과정의 각 단계에 대해 별도의 챔버와 시스템을 필요로 하지 않음으로보다 비용 효율적이고, 안정적이며, 반복 가능한 TFDP 솔루션을 제공합니다. 또한 NOVELLUS CONCEPT ONE (NOVELLUS CONCEPT ONE) 은 검증된 유동 원자로 설계를 사용하여 웨이퍼 전체에 균일성을 보장하고 뛰어난 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 콘셉트 원 (CONCEPT One) 은 모듈식 설계를 사용하여 원자로 (Reactor) 를 신속하게 사용자 정의하여 주어진 응용 프로그램에 가장 적합한 성능을 제공합니다. 게다가, CONCEPT ONE의 고급 표면 분석기 및 현장 가스 제어 기술 (in-situ gas control technology) 은 항상 웨이퍼 전체의 균일성을 보장하여 최고 품질의 결과를 보장합니다. 공정 환경에 대한 제어는 높은 증착률과 함께, 탁월한 수준의 균일성과 웨이퍼 간 수익률에 기여하며, NOVELLUS CONCEPT One은 고급 3D 패키징 및 상호 연결 어플리케이션을위한 완벽한 선택입니다. 마지막으로, NOVELLUS CONCEPT ONE의 안정적이고, 쉽게 유지 관리할 수있는 플랫폼은 소규모 및 대규모 생산에 이상적입니다. 간단히 말해서, 고성능, TCO (총소유비용) 절감, 빠른 프로세스 설정 및 낮은 유지 관리 요구 사항의 균형을 이룹니다. 이 모든 것 은 고급 "반도체 '제조 에 적합 한 다목적," 모듈러' 적, 내구성 있는 "시스템 '에 부가 된다.
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