판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9149818

노벨 러스 컨셉 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로는 혁신적인 설계를 통해 탁월한 성능과 장비의 유연성을 제공하도록 설계된 차세대 제조 도구입니다. 노벨 러스 컨셉트 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로는 고속 기판 냉각, 우수한 온도 및 공정 제어, 빠른 기판 교환, 짧은 열 주기와 같은 기능을 통해 우수한 성능을 제공하도록 설계된 CVD (High-Temple Chepor Deposition) 시스템입니다. 원자로는 여러 공정 헤드 도구 (Multiple Process Head Tools), 여러 공정 챔버 (Multiple Process Chamber) 와 같은 기능을 통해 프로세스 유연성과 능력을 극대화하여 최대 4 가지의 공정 레시피를 동시에 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 표준 실리콘, 갈륨 비소, 질화물 등을 포함한 다양한 재료 및 기판과 호환됩니다. 기계는 또한 각 재료에 대해 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 처리 할 수 있습니다. CONCEPT One Reactor의 온도 조절 도구는 각 프로세스 단계가 최적의 온도에서 실행되도록 합니다. 온도 조절 (temperature control) 은 주기 동안 기판의 온도를 모니터링하고 고급 알고리즘을 사용하여 각 프로세스의 온도를 최적화합니다. 또한, 자산의 넓은 온도 범위는 다양한 증착 과정을 가능하게합니다. 이 모델은 또한 빠른 기판 적재/냉각 장비를 갖추고 있으며, 빠른 시간 (turnaround time) 을 통해 우수한 결과를 신속하게 생성합니다. 이 시스템은 빠른 기판 로딩/냉각 메커니즘을 갖추고 있으며, 기판 변경 시간은 최대 60 초입니다. 이것은 증착 균일성을 조절하고 입자 축적을 최소화하는 데 도움이됩니다. CONCEPT ONE은 멀티 챔버 디자인과 직관적인 사용자 인터페이스를 기반으로 한 고급 장치입니다. 이 기계는 안정성, 유연성 및 일관되게 균일 한 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 툴은 높은 처리 속도 (Throughput Rate) 를 달성하고 다운타임을 최소화하도록 설계되었으며, 가장 까다로운 프로세스에서 요구되는 반복 성능, 속도로 탁월한 성능을 제공합니다.