판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9144937

NOVELLUS CONCEPT One은 고급 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 고속, 고성능 에치 및 증착 원자로입니다. 최첨단 기술을 활용하여 실리콘, 저마늄, 구리, 알루미늄, 기타 소재 등 다양한 소재에서 저렴한 가격의 고품질 필름 증착 및 에칭을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT ONE (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로에는 작은 설치 공간을 유지하면서 빠른 속도로 다양한 단일 웨이퍼 처리 영역을 제공하는 독특한 디자인이 있습니다. 이렇게 하면 공장에서 공간을 가장 효율적으로 사용할 수 있습니다. CONCEPT One에는 자체 조정 온도 컨트롤러 및 직류 (DC) 바이어스가 포함 된 고급 온도 제어 장비가 있습니다. 이 고급 온도 제어 시스템 (Advanced Temperature Control System) 은 다양한 하중 하에서 챔버 불안정성을 감소시켜 열 손상 가능성을 줄입니다. CONCEPT ONE 원자로는 또한 정확한 필름 증착률을 보장하기 위해 고속, 고정밀 흐름 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 표면에서 필름의 가장 균일 하고 반응성 있는 증착을 허용합니다. 또한 원자로에는 고성능 플라즈마 발전기가 있습니다. 이 발전기 는 고농도 의 반응성 종 을 "웨이퍼 '표면 에 전달 하여" 박막' 을 효과적 으로 에칭 하도록 설계 되었다. NOVELLUS CONCEPT One 원자로에는 로드 잠금 챔버 및 로드/언로드 관리 도구도 포함되어 있습니다. 이 자산은 Wafer 를 모델로 로드/언로드하는 과정을 간소화하여 공장 환경에서 생산성 (Productivity) 과 안전성 (Safety) 을 향상시킵니다. 운영자 안전을 위해 방화, 가스 분사 라인 및 안전 제어도 포함됩니다. 마지막으로, 원자로에는 강력한 소프트웨어 사용자 인터페이스 (Software User Interface) 가 제공되어 장비를 쉽게 작동하고 프로그래밍할 수 있습니다. 따라서 실시간 모니터링, 진단, 레시피, 원격 작업, 제어, 데이터 로깅 등의 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스는 다중 단계 설정 (Multi-Stage Setup) 및 시스템 사용자 정의를 지원하여 사용 편이성을 극대화합니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT ONE은 다양한 재료에서 고품질, 고정밀 에칭 및 증착을 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 첨단 온도 조절 장치, 정밀 흐름 제어 장치, 고성능 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 는 오늘날의 고급 반도체 제조 프로세스에 이상적인 선택입니다.