판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT One #9113371

NOVELLUS CONCEPT One은 얇은 필름의 화학 증기 증착 (CVD) 을 위해 설계된 원자로 유형입니다. 원자로 (Reactor) 는 효율성을 극대화하도록 설계되어 다양한 프로세스에 가장 높은 성능과 생산성을 제공합니다. 자체 조립 모놀레이어 (SAM) 의 증착을 위해 설계되었으며, 단일 주기로 최대 5 개의 레이어를 배치 할 수 있습니다. 원자로에는 고성능 밸브, 솔루션 제어 장비 (SCS) 및 고급 공정 제어 시스템이 장착되어 있습니다. NOVELLUS CONCEPT ONE 원자로는 기질 온도, 반응 화학 및 증착 압력, 기타 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 또한 고정밀 가스 제어 시스템 (High-Precision Gas Control System) 이 장착되어 가스 및 증기 유속을 제어 할 수 있습니다. 원자로는 여러 전극 및 전원을 사용합니다. 이 기능은 증착 과정 (deposition process) 의 유연성을 제공하여 사용자가 박막 증착을 최적화하기 위해 온도, 솔루션, 압력, 가스 흐름을 쉽게 조정할 수 있습니다. CONCEPT One에는 TAV (Thermal Assisted CVD), OAV (Oxygen Assisted CVD) 및 CAV (Chemical Assisted CVD) 와 같은 다양한 프로세스의 온도를 유지하는 고급 온도 제어 장치가 있습니다. 온도는 여러 개의 열전구에 의해 조절되며, 이 온도는 챔버 내부에 배치되어 실시간으로 모니터링됩니다. 이 기계는 일반적인 온도 제어기 (temperature controller) 보다 우수하며, 온도는 갑자기 이동하며 공구 재교정 및 수동 조정이 자주 필요합니다. CONCEPT ONE의 SCS (Advanced Solution Control Asset) 는 솔루션 화학에 대한 탁월한 제어 기능을 제공합니다. Anodic Activation과 Cathodic Activation의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 아노딕 활성화 (Anodic Activation) 는 전위, 온도 및 반응 시간에 의해 기질 및 샘플을 프리 사이클링하도록 허용한다. Cathodic Activation은 기질이 전위, 온도 및 반응 시간에 의해 재활용 후 (postcycled) 될 수있게한다. 이 모델은 증착 과정의 신뢰성과 재생성을 증가시킵니다. 노벨 러스 컨셉트 원 (NOVELLUS CONCEPT ONE) 원자로 (Reactor) 는 사용자와 원자로 사이의 기본 인터페이스 역할을하는 고급 공정 제어 장비로 설계되었습니다. 모든 프로세스에 대한 지침과 프로세스 매개 변수에 대한 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 이 시스템에서 제공하는 정보는 증착 프로세스를 최적화하는 데에도 사용됩니다. 이 장치는 이상을 진단하고, 수정 조치를 취하고, 프로세스의 상세한 히스토그램 (histogram) 을 제공 할 수 있습니다. 상기 에 언급 된 모든 특징 들 이 합쳐져 "노벨러스 콘셉트 원 '은 화학 증기 증착" 응용프로그램' 에 사용 하기 위한 효율적 이고 생산적 인 원자로 가 되었다. 사용자는 기계를 통해 다양한 프로세스에 대한 배치 매개변수 (deposition parameters) 를 정확하게 제어하고, 프로세스를 최적화하고, 증착의 처리량 (throughput) 과 수율 (yield) 을 높일 수 있습니다. 고급 기능으로, CONCEPT One은 박막 퇴적을위한 우수한 원자로입니다.